Двухволновой метод лазерно-стимулированного окисления слоя пористого кремния
Григорьев Л.В.
1,2, Семенов А.А.
2, Михайлов А.В.
31Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
3Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова, Санкт-Петербург, Россия
Email: lvgrigoryev@mail.ru
Поступила в редакцию: 20 августа 2023 г.
В окончательной редакции: 20 августа 2023 г.
Принята к печати: 27 декабря 2023 г.
Выставление онлайн: 1 марта 2024 г.
Описан новый метод фотонно-стимулированной обработки поверхности полупроводника: метод двухволнового лазерно-стимулированного окисления слоя пористого кремния. Исследованы оптические свойства слоя лазерно-окисленного нанопористого кремния в спектральной полосе 2-17 μm. Исследуемый слой нанопористого кремния сформирован электролитическим травлением поверхности монокристаллического кремния КДБ-10, ориентации (100) по стандартной методике. Плотность анодного травления составила 25.0 mA/сm2. Лазерно-стимулированное окисление слоя нанопористого кремния проводилось воздействием на поверхность излучения двух лазеров с разными длинами волн: вспомогательного излучения - с помощью трех различных лазерных диодов с длинами волн 980, 520 и 405 nm и основного излучения - с помощью DPSS-лазера YAG:Nd, работавшего в импульсном режиме, с длиной волны 1.064 μm. Ключевые слова: фотонно-стимулированная обработка поверхности, лазерно-стимулированное окисление, лазерно-окисленный нанопористый кремний, рентгеновская дифракция, спектры пропускания, структуры интегральной оптики.
- K. Djordjev, C. Seung-June, C. Sang-Jun, R.D. Dapkus. IEEE Photonics Technol. Lett., 14, 828-30 (2002)
- G. Martinez-Jimenez, Y. Franz, A.F. Runge, M. Ceschia, N. Healy, S.Z. Oo, A. Arazona, H.M. Chong, A.C. Peacock, S. Mailis. Opt. Mater. Express, 9 (6), 2573, (2019). DOI: 10.1364/OME.9.002573
- Y. Franz, A.F.J. Runge, S.Z. Oo, G. Jimenez-Martinez, N. Healy, A. Khokhar, A. Tarazona, H.M.H. Chong, S. Mailis, A.C. Peacock. Opt. Express, 27 (4), 4462 (2019)
- G.Z. Mashanovich, M.M. Milosevich, M. Nedeljkovic, N. Owens, B. Xiong, E.J. Teo, Y. Hu. Opt. Express, 19 (8), 7113 (2011)
- X.J. Wang, T. Nakajima, H. Ishiki, T. Kimura. Appl. Phys. Lett., 95, 040906 (2009)
- F.Y. Gardes, D.J. Thomson, N.G. Emerson, G.T. Reed. Opt. Express, 19 (12), 11804 (2011)
- A.G. Gullis, L.T. Canham, P.D. Calcott. J. Appl. Phys., 82 (3), 909 (1997)
- O. Bisi, S. Ossieni, L. Pavesi. Surf. Sci. Rep., 38, 1 (2000)
- L. Pavesi. J. Phys.: Cond. Matt., 15, 1169 (2003)
- U. Das, V. Sadasivan. J. Las. Opt. Photon., 4 (2), 1000163 (2017). DOI: 10.4172/2469-410X.1000163
- Л.М. Сорокин, В.И. Соколов, А.П. Бурцев, А.Е. Калмыков, Л.В. Григорьев. Письма в ЖТФ, 33 (24), 69 (2007)
- Л.В. Григорьев, А.В. Михайлов. Оптический журнал, 81 (10), 77 (2014)
- Л.В. Григорьев, А.В. Михайлов. Оптический журнал, 82 (11), 79 (2015)
- Л.В. Григорьев, С.О. Соломин, Д.С. Поляков, В.П. Вейко, А.В. Михайлов. Оптический журнал, 83 (7), 51 (2016)
- Л.В. Григорьев, П.П. Коноров, А.В. Михайлов. Оптический журнал, 79 (2), 54 (2012)
- T. Inokuma, Y. Wakayama, T. Muramoto, R. Aoki, Y. Kurata. J. Appl. Phys., 83, 2228 (1998). DOI: 10.1063/1.366951
- L.X. Yi, J. Heitmann, R. Scholz, M. Zacarias. Appl. Phys. Lett., 81, 4248 (2002). DOI: 10.1063/1.1525051
- K. Sato, T. Izumi, M. Iwase, Y. Show, H. Morisaki, T. Yaguchi. Appl. Surf. Sci., 216, 376 (2003)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
