Вышедшие номера
Катодолюминесценция собственных дефектов в пленках La : HfZrO
РФФИ , ННИО_а, 20-57-12003
Дементьева Е.В.1, Заморянская М.В.1, Гриценко В.А.2,3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
3Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
Email: ivanova@mail.ioffe.ru, zam@mail.ioffe.ru, grits@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 24 октября 2022 г.
В окончательной редакции: 24 октября 2022 г.
Принята к печати: 1 ноября 2022 г.
Выставление онлайн: 19 декабря 2022 г.

Нанометровые пленки твердого раствора оксида гафния и циркония, легированные лантаном (La:(HfZr)O2), представляют большой интерес для разработки универсальной памяти, сочетающей неограниченное число циклов перепрограммирования оперативной памяти и энергонезависимость флеш-памяти. Настоящая работа посвящена исследованиям катодолюминесцентных свойств тонких пленок La : HfZrO с различным содержанием лантана. Показано, что в спектрах катодолюминесценции доминируют две полосы излучения с максимумами интенсивности 2.7 и 2.2 eV. Голубая полоса с энергией 2.7 eV обусловлена вакансией кислорода в La : HfZrO. Исследование влияния примеси лантана и отжига образцов в аргоне позволяет предположить, что желтая полоса с максимумом излучения 2.2 eV связана с дивакансией кислорода. Ключевые слова: люминесценция, оксид гафния, оксид циркония, вакансия кислорода.