Оптика и спектроскопия

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Катодолюминесценция собственных дефектов в пленках La : HfZrO

DOI: 10.21883/OS.2022.12.54088.4244-22

Переводная версия: 10.21883/EOS.2022.12.55242.4244-22

РФФИ , ННИО_а, 20-57-12003

Дементьева Е.В.¹, Заморянская М.В.¹, Гриценко В.А.^2,3

¹Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia

²Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

³Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия Novosibirsk State Technical University, Novosibirsk, Russia

Email: ivanova@mail.ioffe.ru, zam@mail.ioffe.ru, grits@isp.nsc.ru

Поступила в редакцию: 24 октября 2022 г.

В окончательной редакции: 24 октября 2022 г.

Принята к печати: 1 ноября 2022 г.

Выставление онлайн: 19 декабря 2022 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Нанометровые пленки твердого раствора оксида гафния и циркония, легированные лантаном (La:(HfZr)O₂), представляют большой интерес для разработки универсальной памяти, сочетающей неограниченное число циклов перепрограммирования оперативной памяти и энергонезависимость флеш-памяти. Настоящая работа посвящена исследованиям катодолюминесцентных свойств тонких пленок La : HfZrO с различным содержанием лантана. Показано, что в спектрах катодолюминесценции доминируют две полосы излучения с максимумами интенсивности 2.7 и 2.2 eV. Голубая полоса с энергией 2.7 eV обусловлена вакансией кислорода в La : HfZrO. Исследование влияния примеси лантана и отжига образцов в аргоне позволяет предположить, что желтая полоса с максимумом излучения 2.2 eV связана с дивакансией кислорода. Ключевые слова: люминесценция, оксид гафния, оксид циркония, вакансия кислорода.

F. Mehmood, M. Hoffmann, P. D. Lomenzo, C. Richter, M. Materano, T. Mikolajick, Uwe Schroeder. Adv. Mater. Interfaces, 6 (21), 1901180 (2019). DOI : 10.1002/admi.201901180
T. Schenk, M. Pesic, S. Slesazeck, U. Schroeder, T. Mikolajick. Rep. on Progr. in Phys., 83 (8), 086501 (2020). DOI: 10.1088/1361-6633/ab8f86
A.G. Chernikova, M.G. Kozodaev, D.V. Negrov, E.V. Korostylev, M.H. Park, U. Schroeder, C.S. Hwang, A.M. Markeev. ACS Appl. Mater. Interface, 10 (3), 2701-2708 (2018). DOI: 10.1021/acsami.7b15110
U. Schroeder, C. Adelmann, E. Yurchuk, J. Muller, D. Martin, T. Schenk, P. Polakowski, M.I. Popovici, S.V. Kalinin, T. Mikolajick . Jpn. J. Appl. Phys., 53, 08LE02 (2014)
D.R. Islamov, V.A. Gritsenko, T.V. Perevalov, V.A. Pustovarov, O.M. Orlov, A.G. Chernikova, A.M. Markeev, S. Slesazeck, U. Schroeder, T. Mikolajick, G.Ya. Krasnikov. Acta Mater., 166, 47-55 (2019). DOI: 10.1016/j.actamat.2018.12.008
M.H. Park, C.-C. Chung, T. Schenk, C. Richter, M. Hoffmann, S. Wirth, J.L. Jones, T. Mikolajick, U. Schroeder. Adv. Electron. Mater., 4, 1700489 (2018). DOI: 10.1002/aelm.201700489
П.А. Дементьев, Е.В. Иванова, М.В. Заморянская. ФТТ, 61 (8), 1448-1454 (2019). DOI: 10.21883/OS.2022.12.54088.4244-22 [P.A. Dementev, E.V. Ivanova, M.V. Zamoryanskaya. Phys. Solid State, 61, 1394-1400 (2019). DOI: 10.1134/S1063783419080110]
Д.Р. Исламов, В.А. Гриценко, В.Н. Кручинин, Е.В. Иванова, М.В. Заморянская, М.С. Лебедев. ФТТ, 60 (10), 2006-2013 (2018). DOI: 10.21883/OS.2022.12.54088.4244-22 [D.R. Islamov, V.A. Gritsenko, V.N. Kruchinin et al. Phys. Solid State, 60, 2050-2057 (2018). DOI: 10.1134/S1063783418100098]
M.V. Zamoryanskaya, S.G. Konnikov, A.N. Zamoryanskii. Microanalyzer, Instrum. Exp. Tech., 47, 477-483 (2004)
Toshihide Ito, Motohiro Maeda, Kazuhiko Nakamura. J. Appl. Phys., 97, 054104 (2005). DOI: 10.1063/1.1856220
V.A. Gritsenko, T.V. Perevalov, D.R. Islamov. Phys. Rep., 613, 1-20 (2016). DOI: 10.1016/j.physrep.2015.11.002
T.V. Perevalov, D.V. Gulyaev, V.S. Aliev, K.S. Zhuravlev, V.A.Gritsenko, A.P. Yelisseyev. J. Appl. Phys., 116, 244109 (2014). DOI: 10.1063/1.4905105
D.R. Islamov, V.A. Gritsenko, T.V. Perevalov, V.Sh Aliev, V.A Nadolinny, A. Chin. Materialia, 15, 100980 (2021). DOI: 10.1016/j.mtla.2020.100979

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель