Вышедшие номера
Формирование плёнок In2O3 методом магнетронного напыления на подложках Al2O3 (012)
Тихий А.А.1, Николаенко Ю.М.2, Свиридова Е.А.2,3, Жихарев И.В.2
1Луганский государственный педагогический университет, Луганск, Луганская Народная Республика
2Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина, Донецк, Донецкая Народная Республика
3Донбасская национальная академия строительства и архитектуры, Макеевка, Донецкая Народная Республика
Email: ea0000ffff@mail.ru, nik@donfti.ru, kasv@i.ua, izhikharev@mail.ru
Поступила в редакцию: 6 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 28 мая 2022 г.
Принята к печати: 30 мая 2022 г.
Выставление онлайн: 6 июля 2022 г.

Обобщены результаты исследований микроструктуры и оптических характеристик плёнок In2O3, полученных dc-магнетронным методом распыления поликристаллической мишени на монокристаллические сапфировые подложки. Технологические режимы получения плёнок отличались временем напыления, температурой подложки, а также наличием дополнительной термообработки пленочных структур на воздухе. Установлено, что оптический показатель преломления плёнок, осажденных на "холодную" подложку, возрастает в направлении от подложки к внешнему интерфейсу. Термообработка плёнок устраняет неоднородность показателя преломления и приводит к уменьшению ширины запрещённой зоны. Наблюдаемые оптические свойства объясняются неоднородной по толщине микроструктурой плёнок, которая формируется при распылении мишени с относительно невысокой механической прочностью. Ключевые слова: плёнки In2O3, магнетронное напыление, подложки Al2O3, показатель преломления, ширина запрещенной зоны.
  1. A.A. Khalefa, J.M. Marei, H.A. Radwan, J.M. Rzaij. Digest J. Nanomaterials and Biostructures, 16 (1), 197 (2021)
  2. A.A. Yousif, M.H. Hasan. J. Biosens. Bioelectron., 6 (4), 1000192 (2015). DOI: 10.4172/2155-6210.1000192
  3. J. Liu, W. Guo, F. Qu, C. Feng, C. Li, L. Zhu, J. Zhou, S. Ruan, W. Chen. Ceramics International, 40, 6685 (2014). DOI: /10.1016/j.ceramint.2013.11.129
  4. D. Manno, M.D. Giulio, T. Siciliano, E. Filippo, A. Serra. J. Phys. D: Appl. Phys., 34, 2097 (2001). DOI: 10.1088/0022-3727/34/14/303
  5. Yu.M. Nikolaenko, A.N. Artemov, Yu.В. Medvedev, N.B. Efros, I.V. Zhikharev, I.Yu. Reshidova, A.A. Tikhii, S.V. Kara-Murza. J. Phys. D: Appl. Phys., 49, 375302 (2016). DOI: 10.1088/0022-3727/49/37/375302
  6. X. Du, J. Yu, X. Xiu, Q. Sun, W. Tang, B. Man. Vacuum, 167, 1 (2019). DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.05.035
  7. S.K. Yadav, S. Das, N. Prasad, B.K. Barick, S. Arora, D.S. Sutar, S. Dhar. J. Vacuum Science \& Technology A, 38, 033414 (2020). DOI: 0.1116/6.0000038
  8. M. Nistor, W.Seiler, C. Hebert, E. Matei, J. Perri\`ere. Appl. Surface Science, 307, 455 (2014). DOI: 10.1016/j.apsusc.2014.04.056
  9. W. Seiler, M. Nistor, C. Hebert, J. Perri\`ere. Solar Energy Materials and Solar Cells, 116, 34 (2013). DOI: 10.1016/j.solmat.2013.04.002
  10. S. Kaneko, H. Torii, M. Soga, K. Akiyama, M. Iwaya, M. Yoshimoto, T. Amazawa. Jpn. J. Appl. Phys., 51 (1S), 01AC02 (2012)
  11. M.Z. Jarzebski. Phys. Stat. Sol. (a), 71, 13 (1982). DOI: 10.1002/pssa.2210710102
  12. M. Higuchi, S. Uekusa, R. Nakano, K. Yokogawa. J. Appl. Phys., 74 (11), 6710 (1993). DOI: 10.1063/1.355093
  13. Y. Shigesato, S. Takaki, T. Haranoh. J. Appl. Phys., 71 (7), 3356 (1992). DOI: 10.1063/1.350931
  14. H. Kim, C.M. Gilmore, A. Pique, J.S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z.H. Kafafi, D.B. Chrisey. J. Appl. Phys., 86 (11), 6451 (1999). DOI: 10.1063/1.371708
  15. Ю.М. Николаенко, А.Б. Мухин, В.А. Чайка, В.В. Бурховецкий. ЖТФ, 80 (8), 115 (2010). [Yu.M. Nikolaenko, A.B. Mukhin, V.A. Chaika, V.V. Burkhovetskii. Technical Physics, 55 (8), 1189 (2010)]
  16. A.A. Tikhii, Yu.M. Nikolaenko, A.S. Kornievets, I.V. Zhikharev. In: The 21st International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams, ed. by M. Yuzhakov, O. Lapteva, M. Slobodyan, V. Tarbokov, G. Remnev (Mozart, Tomsk, Russia, 2019), p. 4
  17. A.A. Tikhii, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. In: 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2020 online): Abstracts (Publishing House of IAO SB RAS, Tomsk, 2020), p. 601
  18. А.А. Тихий, Ю.М. Николаенко, Ю.И. Жихарева, И.В. Жихарев. Опт. и спектр., 128 (10), 1544 (2020). DOI: 10.21883/OS.2022.08.52902.3483-22 [A.A. Tikhii, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. Opt. Spectrosc., 128 (10), 1667 (2020). DOI: 10.1134/S0030400X20100252]
  19. А.А. Тихий, Ю.М. Николаенко, Ю.И. Жихарева, А.С. Корнеевец, И.В. Жихарев. ФТП, 52 (3), 337 (2018). DOI: 10.21883/OS.2022.08.52902.3483-22 [A.A. Tikhii, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, A.S. Kornievets, I.V. Zhikharev. Semiconductors, 52, 320 (2018). DOI: 10.1134/S1063782618030223]
  20. V.A. Gritskikh, I.V. Zhikharev, S.V. Kara-Murza, N.V. Korchikova, T.V. Krasnyakova, Y.M. Nikolaenko, A.A. Tikhii, A.V. Pavlenko, Y.I. Yurasov. In: Advanced Materials Techniques, Physics, Mechanics and Applications, ed. by Ivan A. Parinov, Shun-Hsyung Chang, Muaffaq A. Jani. Springer Proceedings in Physics (Springer International Publishing AG., 2017), v. 193, p. 55. DOI: 10.1007/978-3-319-56062-5
  21. A.A. Tikhii, V.A. Gritskikh, S.V. Kara-Murza, N.V. Korchikova, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. In: European Materials Research Society Spring Meeting 2016 (E-MRS 2016) (France, Lille, 2016), L.P. 32 --- Access mode: https://www.european-mrs.com/2016-spring-symposium-l- european-materials-research-society
  22. А.А. Тихий, Ю.М. Николаенко, М.Ю. Бадекин, В.Н. Саяпин, Н.П. Иваницын, И.В. Жихарев. Вестник ДонНУ. Сер. А: Естественные науки, 3, 112 (2017)
  23. А.А. Тихий, В.А. Грицких, С.В. Кара-Мурза, Н.В. Корчикова, Ю.М. Николаенко, И.В. Жихарев. В сб.: Международная научно-практическая конференция "Открытые физические чтения". Тезисы докладов, под. ред. Т.В. Краснякова, Е.Е. Горбенко, Л.А. Резниченко, И.А. Вербенко ("Альма матер", Луганск, 2016), с. 37
  24. А.А. Тихий, Ю.И. Жихарева, И.В. Жихарев. В сб.: ФизикА.СПб: тезисы докладов международной конференции 18-22 октября 2021 г. (Политех-пресс, СПб., 2021), с. 252
  25. А.А. Тихий, Е.А. Свиридова, Ю.И. Жихарева, И.В. Жихарев. ЖПС, 88 (5), 743 (2021). [A.A. Tikhii, K.A. Svyrydova, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. J. Appl. Spectrosc., 88 (5), 975 (2021). DOI: 10.1103/PhysRevLett.29.274]
  26. A. Walsh, J.L.F. Da Silva, Su-Huai Wei, C. Korber, A. Klein, L.F.J. Piper, A. De Masi, K.E. Smith, G. Panaccione, P. Torelli, D.J. Payne, A. Bourlange, R.G. Egdell. Phys. Rev. Lett., 100, 167402 (2008). DOI: 10.1103/PhysRevLett.100.167402
  27. Y. Furubayashi, M. Maehara, T. Yamamoto. ACS Applied Electronic Materials, 1 (8), 1545 (2019). DOI: 10.1021/acsaelm.9b00317
  28. L. Gupta, A. Mansingh, P.K. Srivastava. Thin Solid Films, 176, 33 (1989). DOI: 10.1016/0040-6090(89)90361-1
  29. A. Schleife, M.D. Neumann, N. Esser, Z. Galazka, A. Gottwald, J. Nixdorf, R. Goldhahn, M. Feneberg. New J. Phys., 20, 053016 (2018). DOI: 10.1088/1367-2630/aabeb0
  30. N.M. Ravindra, P. Ganapathy, J. Choi. Infrared Physics \& Technology, 50, 21 (2007). DOI: 10.1016/j.infrared.2006.04.001

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.