Оптика и спектроскопия

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Оптические свойства пленки линейно-цепочечного углерода, нанесенного на стальной образец

DOI: 10.21883/OS.2022.05.52438.2650-21

Переводная версия: 10.21883/EOS.2022.05.54451.2650-21

Акашев Л.А.¹, Махнев А.А.², Кочаков В.Д.³, Владимиров А.П.^4,5, Дружинин А.В.^2,5

¹Институт химии твердого тела Уральского oтделения Российской академии наук, Екатеринбург, Россия Institute of Solid State Chemistry, Russian Academy of Sciences, Ural Branch, Yekaterinburg, Russia

Institute of Solid State Chemistry, Russian Academy of Sciences, Ural Branch, Yekaterinburg, Russia

²Институт физики металлов им. М.Н. Михеева Уральского отделения Российской академии наук, Екатеринбург, Россия M.N. Mikheev Institute of Metal Physics, Ural Branch, Russian Academy of Sciences, Yekaterinburg, Russia

M.N. Mikheev Institute of Metal Physics, Ural Branch, Russian Academy of Sciences, Yekaterinburg, Russia

³Чувашский государственный университет, Чебоксары, Россия Chuvash State University, Cheboksary, Russia

⁴Институт машиноведения УрО РАН, Екатеринбург, Россия Institute of Engineering Science, Ural Branch, Russian Academy of Sciences, Yekaterinburg, Russia

Institute of Engineering Science, Ural Branch, Russian Academy of Sciences, Yekaterinburg, Russia

⁵Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б.Н. Ельцина, Екатеринбург, Россия Ural Federal University after the first President of Russia B.N. Yeltsin, Yekaterinburg, Russia

Ural Federal University after the first President of Russia B.N. Yeltsin, Yekaterinburg, Russia

Email: akashev-ihim@mail.ru

Поступила в редакцию: 17 августа 2021 г.

В окончательной редакции: 24 ноября 2021 г.

Принята к печати: 15 января 2022 г.

Выставление онлайн: 7 апреля 2022 г.

PDF версия

Эллипсометрическим методом Битти получены оптические постоянные пленки линейно-цепочечного углерода (ЛЦУ) в спектральном диапазоне от 248 до 1100 nm (1.13-5.0 eV с шагом 0.1 eV) и определена ее толщина. Пленка ЛЦУ была нанесена на предварительно зеркально полированную поверхность массивного стального образца с использованием технологии импульсной углеродной плазмы с ионным стимулированием. Установлено, что в измеряемом диапазоне спектра показатель преломления пленки изменяется в пределах от 2.35 до 2.73, а величина k изменяется от значения, близкого к нулю, до величины 1.02. Эффективная толщина пленки определена равной d = 92 ± 2 Angstrem. По типу проводимости ЛЦУ-пленка - диэлектрик (E_g = 4.1 eV). Предложен упрощенный метод определения ширины запрещенной зоны наноразмерных полупроводниковых и диэлектрических пленок. Ключевые слова: эллипсометрия, оптические свойства пленки углерода, линейно-цепочечный углерод, ширина запрещенной зоны.

Ю.П. Кудрявцев, В.Г. Бабаев, М.Б. Гусева, В.В. Хвостов, Н.Ф. Савченко, А.Ф. Александров. Нанотехнологии: разработка, применение, 2 (1), 27 (2010)
В. Г. Бабаев, М.Б. Гусева, Н.Ф. Савченко, В.В. Хвостов, С.Г. Бугров. Поверхность. Рентг., синхр. и нейтр. исслед., 6, 100 (2005)
Н.Ф. Савченко, В.В. Хвостов, М.Б. Гусева, О.Ю. Нищак, А.Ф. Александров, В.Г. Бабаев. Нанотехнологии: разработка, применение. 2 (2), 3 (2010)
В.Г. Бабаев, В.В. Хвостов, М.Б. Гусева, Н.Ф. Савченко, Ю.Г. Белоконева. Поверхность. Рентг., синхр. и нейтр. исслед., 5, 89 (2007)
В.Т. Костава, Н.М. Анучина, Н.П. Бакулева, М.В. Зеливянская, Ж.Е. Кондратенко, И.Г. Лютова, Д.А. Попов. Медицинская техника, 6 (300), 3 (2016)
P. Flood, V.G. Babaev, V.V. Khvostov,N. D. Novikov, M.B. Guseva. Polyynes. Synthesis, Properties, and Applications (CRC Press, Boca Paton, FL, 2006). p. 219-252. DOI: 10.1201/9781420027587
А.В. Ржанов. Основы эллипсометрии. (Наука, Москва, 1979)
Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет. (Мир, Москва, 1981)
Алгоритмы и программы для численного решения некоторых задач эллипсометрии, под ред. А.В. Ржанова. (Наука, Новосибирск, 1980)
N.S. Das, P.K. Ghosh, M.K. Mitra, K.K. Chattopadhyay. Physica E, 42 (8), 2097 (2010). DOI: 10.1016/j.physe.2010.03.035

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель