Вышедшие номера
Оптические свойства пленки линейно-цепочечного углерода, нанесенного на стальной образец
Акашев Л.А.1, Махнев А.А.2, Кочаков В.Д.3, Владимиров А.П.4,5, Дружинин А.В.2,5
1Институт химии твердого тела Уральского oтделения Российской академии наук, Екатеринбург, Россия
2Институт физики металлов им. М.Н. Михеева Уральского отделения Российской академии наук, Екатеринбург, Россия
3Чувашский государственный университет, Чебоксары, Россия
4Институт машиноведения УрО РАН, Екатеринбург, Россия
5Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б.Н. Ельцина, Екатеринбург, Россия
Email: akashev-ihim@mail.ru
Поступила в редакцию: 17 августа 2021 г.
В окончательной редакции: 24 ноября 2021 г.
Принята к печати: 15 января 2022 г.
Выставление онлайн: 7 апреля 2022 г.

Эллипсометрическим методом Битти получены оптические постоянные пленки линейно-цепочечного углерода (ЛЦУ) в спектральном диапазоне от 248 до 1100 nm (1.13-5.0 eV с шагом 0.1 eV) и определена ее толщина. Пленка ЛЦУ была нанесена на предварительно зеркально полированную поверхность массивного стального образца с использованием технологии импульсной углеродной плазмы с ионным стимулированием. Установлено, что в измеряемом диапазоне спектра показатель преломления пленки изменяется в пределах от 2.35 до 2.73, а величина k изменяется от значения, близкого к нулю, до величины 1.02. Эффективная толщина пленки определена равной d = 92 ± 2 Angstrem. По типу проводимости ЛЦУ-пленка - диэлектрик (Eg = 4.1 eV). Предложен упрощенный метод определения ширины запрещенной зоны наноразмерных полупроводниковых и диэлектрических пленок. Ключевые слова: эллипсометрия, оптические свойства пленки углерода, линейно-цепочечный углерод, ширина запрещенной зоны.