Вышедшие номера
Home » Оптика и спектроскопия » Год 2022, выпуск 3 » Статья стр. 377
<<<>>>
Обобщенная нуль-эллипсометрия в схеме "поляризатор-образец-анализатор"
DOI: 10.21883/OS.2022.03.52166.2590-21
Сопинский Н.В. 1, Ольховик Г.П. 1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Email: sopinskyy@ua.fm, sopinsky@isp.kiev.ua
Поступила в редакцию: 27 июля 2021 г.
В окончательной редакции: 2 декабря 2021 г.
Принята к печати: 2 декабря 2021 г.
Выставление онлайн: 13 января 2022 г.
PDF версия
Рассмотрена "нуль-методика" обобщенной эллипсометрии с использованием бескомпенсаторной схемы поляризатор-образец-анализатор при падении на анизотропную систему s- или p-поляризованного света. Приведены аналитические выражения, связывающие измеряемую угловую величину - азимут анализатора в минимуме интенсивности детектируемого излучения - с элементами (2x2) анизотропной матрицы Джонса. Для определения оптико-геометрических параметров исследуемых анизотропных систем предлагается использовать зависимость этой величины от ориентации (азимута) образца. Оценена чувствительность метода. Установлено, что она сравнима с чувствительностью схемы поляризатор-компенсатор-образец-анализатор. Проведен сравнительный анализ данного метода с известным фотометрическим методом обобщенной эллипсометрии в схеме поляризатор-образец-анализатор, основанном на измерении зависимости интенсивности отраженного света от азимута образца при фиксированных положениях поляризатора и анализатора. Для получения одинаковой чувствительности этих двух методов погрешности в одну угловую минуте в предлагаемом методе соответствует относительная погрешность определения энергетического коэффициента отражения 0.05% в фотометрическом методе обобщенной эллипсометрии. Ключевые слова: анизотропия, анизотропная матрица Джонса, обобщенная эллипсометрия, стандартная эллипсометрия, нуль-эллипсометрия, фотометрическая эллипсометрия.
  1. R.M.A. Azzam, N.M. Bashara. Ellipsometry and Polarized Light (North-Holland, Amsterdam, 1977). [Р. Аззам, H. Башарa. Эллипсометрия и поляризованный свет, пер. с англ. (M., 1981)]
  2. Основы эллипсометрии. Под ред. А.В. Ржанова. (Новосибирск, Наука, 1979. 424 с.)
  3. Ellipsometry at the Nanoscale, ed. by M. Losurdo and K. Hingerl (Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, 2013)
  4. В.А. Швец, Е.В. Спесивцев, C.В. Рыхлицкий, Н.Н. Михайлов. Российские нанотехнологии, 4 (3), 72 (2009). [V.A. Shvets, E.V. Spesivtsev, S.V. Rykhlitskii, N.N. Mikhailov. Nanotechnologies in Russia, 4 (3), 201 (2009)]. DOI: 10.1134/S1995078009030082]
  5. Н.В. Сопинский. Автометрия, 106 (1997). [N.V. Sopinskii. Optoelectron. Instrument. Proc. 1, 95 (1997)]
  6. Y. Murakami, T. Ogawa, M. Wakaki, S. Kawabata. Jpn. J. Appl. Phys., 39 Part 1 (2A), 509 (2000). DOI: 10.1143/JJAP.39.509
  7. G.J. Babonas, A. Reza, R. Szymczak, M. Baran, S. Shiryaev, J. Fink-Finowicki, H. Szymczak. Acta Phys. Pol. A., 105 (1-2), 197 (2004). DOI: 10.12693/APhysPolA.105.197
  8. А.А. Новиков, И.А. Храмцовский, В.Ю. Иванов, И.С. Федоров, А. Туркбоев. Изв. вузов. Приборостроение, 52 (1), 62 (2009)
  9. D. Schmidt, B. Booso, T. Hofmann, E. Schubert, A. Sarangan, M. Schubert. Appl. Phys. Lett., 94 (1), 011914 (2009). DOI: 10.1063/1.3062996
  10. Н.В. Сопинский, В.С. Хомченко, О.С. Литвин, А.К. Савин, Н.А. Семененко, А.А. Евтух, В.П. Соболевский, Г.П. Ольховик. ЖТФ, 81 (11), 125 (2011). [N.V. Sopinskii, V.S. Khomchenko, O.S. Litvin, A. K. Savin, N.A. Semenenko, A.A. Evtukh, V.P. Sobolevskii, G.P. Ol'khovik. Technical Physics, 56 (11), 1665 (2011). DOI: 10.1134/S1063784211110259]
  11. M.V. Sopinskyy, N.A. Vlasenko, I.P. Lisovskyy, S.O. Zlobin, Z.F. Tsybrii, L.I. Veligura. Nanoscale Res. Lett., 10, Article 232 (2015). DOI: 10.1186/s11671-015-0933-0
  12. Н.В. Сопинский. Опт. и спектр. 123 (5), 764 (2017). [N.V. Sopinskii. Opt. Spectrosc. 123, 778 (2017). DOI: 10.1134/S0030400X17110212]
  13. Т.Х. Хасанов. Опт. и спектр., 127 (2), 270 (2019). [T.Kh. Khasanov. Opt. Spectrosc., 127, 271 (2019). DOI: 10.1134/S0030400X19080149]
  14. R.M.A. Azzam, N.M. Bashara. J. Opt. Soc. Am. A., 64 (2), 128 (1974). DOI: 10.1364/JOSA.64.000128
  15. А.Ю. Тронин. ПТЭ. N 6, 123 (1989)
  16. J. Lee, P.I. Rovira, I. An, R.W. Collins. J. Opt. Soc. Am. A., 18 (8), 1980 (2001). DOI: 10.1364/JOSAA.18.001980
  17. N.Ya. Gorban, L.V. Poperenko. J. Appl. Specrosc., 33 (4), 1120 (1980). DOI: 10.1007/BF00608389
  18. W. Xu, L.T. Wood, T.D. Golding. Thin Solid Films, 384 (2), 276 (2001). DOI: 10.1016/S0040-6090(00)01861-7
  19. W. Xu, L.T. Wood, T.D. Golding. Surf. Sci., 495 (1-2),153 (2001). DOI: 10.1016/S0039-6028(01)01559-X
  20. S.C. Som, C. Chowdhury. J. Opt. Soc. Am., 62 (1), 10 (1972). DOI: 10.1364/JOSA.62.000010
  21. R.M.A. Azzam. J. Opt. Soc. Am., 68 (4), 514 (1978). DOI: 10.1364/JOSA.68.000514
  22. И.З. Индутный, В.И. Минько, Н.В. Сопинский, Е.В. Свеженцова. Журн. прикл. спектр., 86 (6), 933 (2019). [I.Z. Indutnyi, V.I. Mynko, M.V. Sopinskyy, K.V. Svezhentsova. J. Appl. Spectrosc., 86 (6), 1058 (2020). DOI: 10.1007/s10812-020-00940-4]
  23. M.V. Sopinskyy, I.Z. Indutnyi, K.V. Michailovska, P.E. Shepeliavyi, V.M. Tkach. Semicond. Phys. Quantum. Electron. Optoelectron., 14 (3), 273 (2011). DOI: 10.15407/spqeo14.03.273
  24. J. Monin, G.A. Boutry. Nouvelle Revue d'Optique, 4 (3), 159 (1973). DOI: 10.1088/0335-7368/4/3/305
  25. С.А. Алексеев, В.Т. Прокопенко. Измер. техн., 27 (9), 20 (1984). [S.A. Alekseev, V.T. Prokopenko. Meas. Tech., 27 (9), 777 (1984). DOI: 10.1007/BF00863738]
  26. А.А. Тихий. Оптические и резистивные свойства нестехиометрических магнитных пленок на основе манганит-лантановых соединений. Дис. канд. физ.-мат. наук. Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина. Донецк, 2018
  27. T.P. Sosnowksi. Opt. Commun., 4 (6), 408 (1972). DOI: 10.1016/0030-4018(72)90112-5
  28. J. Lekner. J. Phys. Condens. Matter., 3 (32), 6121 (1991). DOI: 10.1088/0953-8984/3/32/017
  29. J. Lekner. J. Opt. Soc. Am. A., 10 (9), 2059 (1993). DOI: 10.1364/JOSAA.10.002059
  30. R. Bhandari. J. Opt. Soc. Am., 26 (11), 2368 (2009). DOI: 10.1364/JOSAA.26.002368
  31. J. Lekner. J. Opt. Soc. Am. A., 14 (6), 1359 (1997). DOI: 10.1364/JOSAA.14.001359
  32. D.J. De Smet. J. Opt. Soc. Am., 65 (4), 461 (1975). DOI: 10.1364/JOSA.65.000461

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme