Оптика и спектроскопия
Авторам
Обобщенная нуль-эллипсометрия в схеме "поляризатор-образец-анализатор"
Сопинский Н.В.
1, Ольховик Г.П.
1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина 
Email: sopinskyy@ua.fm, sopinsky@isp.kiev.ua
Поступила в редакцию: 27 июля 2021 г.
В окончательной редакции: 2 декабря 2021 г.
Принята к печати: 2 декабря 2021 г.
Выставление онлайн: 13 января 2022 г.
Рассмотрена "нуль-методика" обобщенной эллипсометрии с использованием бескомпенсаторной схемы поляризатор-образец-анализатор при падении на анизотропную систему s- или p-поляризованного света. Приведены аналитические выражения, связывающие измеряемую угловую величину - азимут анализатора в минимуме интенсивности детектируемого излучения - с элементами (2x2) анизотропной матрицы Джонса. Для определения оптико-геометрических параметров исследуемых анизотропных систем предлагается использовать зависимость этой величины от ориентации (азимута) образца. Оценена чувствительность метода. Установлено, что она сравнима с чувствительностью схемы поляризатор-компенсатор-образец-анализатор. Проведен сравнительный анализ данного метода с известным фотометрическим методом обобщенной эллипсометрии в схеме поляризатор-образец-анализатор, основанном на измерении зависимости интенсивности отраженного света от азимута образца при фиксированных положениях поляризатора и анализатора. Для получения одинаковой чувствительности этих двух методов погрешности в одну угловую минуте в предлагаемом методе соответствует относительная погрешность определения энергетического коэффициента отражения 0.05% в фотометрическом методе обобщенной эллипсометрии. Ключевые слова: анизотропия, анизотропная матрица Джонса, обобщенная эллипсометрия, стандартная эллипсометрия, нуль-эллипсометрия, фотометрическая эллипсометрия.
- R.M.A. Azzam, N.M. Bashara. Ellipsometry and Polarized Light (North-Holland, Amsterdam, 1977). [Р. Аззам, H. Башарa. Эллипсометрия и поляризованный свет, пер. с англ. (M., 1981)]
- Основы эллипсометрии. Под ред. А.В. Ржанова. (Новосибирск, Наука, 1979. 424 с.)
- Ellipsometry at the Nanoscale, ed. by M. Losurdo and K. Hingerl (Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, 2013)
- В.А. Швец, Е.В. Спесивцев, C.В. Рыхлицкий, Н.Н. Михайлов. Российские нанотехнологии, 4 (3), 72 (2009). [V.A. Shvets, E.V. Spesivtsev, S.V. Rykhlitskii, N.N. Mikhailov. Nanotechnologies in Russia, 4 (3), 201 (2009)]. DOI: 10.1134/S1995078009030082]
- Н.В. Сопинский. Автометрия, 106 (1997). [N.V. Sopinskii. Optoelectron. Instrument. Proc. 1, 95 (1997)]
- Y. Murakami, T. Ogawa, M. Wakaki, S. Kawabata. Jpn. J. Appl. Phys., 39 Part 1 (2A), 509 (2000). DOI: 10.1143/JJAP.39.509
- G.J. Babonas, A. Reza, R. Szymczak, M. Baran, S. Shiryaev, J. Fink-Finowicki, H. Szymczak. Acta Phys. Pol. A., 105 (1-2), 197 (2004). DOI: 10.12693/APhysPolA.105.197
- А.А. Новиков, И.А. Храмцовский, В.Ю. Иванов, И.С. Федоров, А. Туркбоев. Изв. вузов. Приборостроение, 52 (1), 62 (2009)
- D. Schmidt, B. Booso, T. Hofmann, E. Schubert, A. Sarangan, M. Schubert. Appl. Phys. Lett., 94 (1), 011914 (2009). DOI: 10.1063/1.3062996
- Н.В. Сопинский, В.С. Хомченко, О.С. Литвин, А.К. Савин, Н.А. Семененко, А.А. Евтух, В.П. Соболевский, Г.П. Ольховик. ЖТФ, 81 (11), 125 (2011). [N.V. Sopinskii, V.S. Khomchenko, O.S. Litvin, A. K. Savin, N.A. Semenenko, A.A. Evtukh, V.P. Sobolevskii, G.P. Ol'khovik. Technical Physics, 56 (11), 1665 (2011). DOI: 10.1134/S1063784211110259]
- M.V. Sopinskyy, N.A. Vlasenko, I.P. Lisovskyy, S.O. Zlobin, Z.F. Tsybrii, L.I. Veligura. Nanoscale Res. Lett., 10, Article 232 (2015). DOI: 10.1186/s11671-015-0933-0
- Н.В. Сопинский. Опт. и спектр. 123 (5), 764 (2017). [N.V. Sopinskii. Opt. Spectrosc. 123, 778 (2017). DOI: 10.1134/S0030400X17110212]
- Т.Х. Хасанов. Опт. и спектр., 127 (2), 270 (2019). [T.Kh. Khasanov. Opt. Spectrosc., 127, 271 (2019). DOI: 10.1134/S0030400X19080149]
- R.M.A. Azzam, N.M. Bashara. J. Opt. Soc. Am. A., 64 (2), 128 (1974). DOI: 10.1364/JOSA.64.000128
- А.Ю. Тронин. ПТЭ. N 6, 123 (1989)
- J. Lee, P.I. Rovira, I. An, R.W. Collins. J. Opt. Soc. Am. A., 18 (8), 1980 (2001). DOI: 10.1364/JOSAA.18.001980
- N.Ya. Gorban, L.V. Poperenko. J. Appl. Specrosc., 33 (4), 1120 (1980). DOI: 10.1007/BF00608389
- W. Xu, L.T. Wood, T.D. Golding. Thin Solid Films, 384 (2), 276 (2001). DOI: 10.1016/S0040-6090(00)01861-7
- W. Xu, L.T. Wood, T.D. Golding. Surf. Sci., 495 (1-2),153 (2001). DOI: 10.1016/S0039-6028(01)01559-X
- S.C. Som, C. Chowdhury. J. Opt. Soc. Am., 62 (1), 10 (1972). DOI: 10.1364/JOSA.62.000010
- R.M.A. Azzam. J. Opt. Soc. Am., 68 (4), 514 (1978). DOI: 10.1364/JOSA.68.000514
- И.З. Индутный, В.И. Минько, Н.В. Сопинский, Е.В. Свеженцова. Журн. прикл. спектр., 86 (6), 933 (2019). [I.Z. Indutnyi, V.I. Mynko, M.V. Sopinskyy, K.V. Svezhentsova. J. Appl. Spectrosc., 86 (6), 1058 (2020). DOI: 10.1007/s10812-020-00940-4]
- M.V. Sopinskyy, I.Z. Indutnyi, K.V. Michailovska, P.E. Shepeliavyi, V.M. Tkach. Semicond. Phys. Quantum. Electron. Optoelectron., 14 (3), 273 (2011). DOI: 10.15407/spqeo14.03.273
- J. Monin, G.A. Boutry. Nouvelle Revue d'Optique, 4 (3), 159 (1973). DOI: 10.1088/0335-7368/4/3/305
- С.А. Алексеев, В.Т. Прокопенко. Измер. техн., 27 (9), 20 (1984). [S.A. Alekseev, V.T. Prokopenko. Meas. Tech., 27 (9), 777 (1984). DOI: 10.1007/BF00863738]
- А.А. Тихий. Оптические и резистивные свойства нестехиометрических магнитных пленок на основе манганит-лантановых соединений. Дис. канд. физ.-мат. наук. Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина. Донецк, 2018
- T.P. Sosnowksi. Opt. Commun., 4 (6), 408 (1972). DOI: 10.1016/0030-4018(72)90112-5
- J. Lekner. J. Phys. Condens. Matter., 3 (32), 6121 (1991). DOI: 10.1088/0953-8984/3/32/017
- J. Lekner. J. Opt. Soc. Am. A., 10 (9), 2059 (1993). DOI: 10.1364/JOSAA.10.002059
- R. Bhandari. J. Opt. Soc. Am., 26 (11), 2368 (2009). DOI: 10.1364/JOSAA.26.002368
- J. Lekner. J. Opt. Soc. Am. A., 14 (6), 1359 (1997). DOI: 10.1364/JOSAA.14.001359
- D.J. De Smet. J. Opt. Soc. Am., 65 (4), 461 (1975). DOI: 10.1364/JOSA.65.000461
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
