Вышедшие номера
Аналитическое описание спектральных характеристик сенсора коэффициента преломления на основе отражательного интерферометра
Госзадание ИАиЭ СО РАН, 121030500067-5
Терентьев В.С. 1, Симонов В.А. 1
1Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения РАН, Новосибирск, Россия
Email: terentyev@iae.nsk.su
Поступила в редакцию: 19 февраля 2021 г.
В окончательной редакции: 1 апреля 2021 г.
Принята к печати: 5 апреля 2021 г.
Выставление онлайн: 26 мая 2021 г.

Впервые представлены аналитические формулы, описывающие спектральные характеристики сенсора на основе отражательного интерферометра для наклонного падения света в оптической схеме Кречмана. Данный сенсор предназначен для измерения коэффициента преломления аналитической среды (жидкости, газа) за счет эффекта полного внутреннего отражения в структуре на основе металло-диэлектрического многослойного покрытия. Определены параметры тонкой металлической пленки, входящей в состав структуры, необходимые для оптимизации спектрального профиля сенсора, который представляет собой спектральные максимумы с варьируемой шириной. В качестве диэлектрического покрытия использованы четвертьволновые слои для наклонного падения света. Приведены аналитические зависимости характеристик сенсора от поляризации: разрешающая способность, чувствительность и контраст, а также параметр качества. Теоретически параметр качества сенсора может иметь бесконечно высокие значения для обеих поляризаций, однако практически он ограничивается потерями в слоях структуры. Показано, что выгоднее использовать S-поляризацию за счет большей добротности резонатора в структуре сенсора при том же числе диэлектрических слоев. Предложен метод изготовления структуры сенсора с оптическим контролем в процессе вакуумного напыления. Ключевые слова: отражательный интерферометр, полное внутреннее отражение, сенсор показателя преломления, инвертированный поверхностный плазмонный резонанс.