Эмиссионные спектры молекулярных газов N2 и CO2 в диапазоне 3-20 nm при импульсном лазерном возбуждении с использованием различных газовых струй в качестве мишеней
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 19-02-00081
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 19-07-00173
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 20-02-00708
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 20-02-00364
Нечай А.Н.1, Перекалов А.А.1, Чхало Н.И.1, Салащенко Н.Н.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: nechay@ipm.sci-nnov.ru, perekalov@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 28 января 2021 г.
В окончательной редакции: 11 февраля 2021 г.
Принята к печати: 26 февраля 2021 г.
Выставление онлайн: 26 марта 2021 г.
Рассматриваются результаты исследования эмиссионных спектров N2 и CO2 при возбуждении импульсным лазерным излучением. Использовался лазер Nd:YAG, λ=1064 nm, tau=5 ns, Epulse=0.8 J. Исследовался спектральный диапазон 3-20 nm. Для формирования атомарно-кластерного пучка использовались капилляр с d=500 μm и сверхзвуковые конические сопла с dcr=145 μm, 2alpha=12o, L=5 mm и dcr=450 μm, 2alpha=11o, L=5 mm. Были получены эмиссионные спектры для различных газовых мишеней, проведена расшифровка полученных спектров и определены ионы, излучающие в данном спектральном диапазоне. Проведено сравнение интенсивностей линий при использовании различных систем формирования мишеней. Ключевые слова: газовые струи, экстремальное ультрафиолетовое излучение, эмиссионные спектры, лазерная искра, рентгеновский спектрометр-монохроматор.
- Кузин С.В., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н. // Известия РАН. Сер. физ. 2011. Т. 75. В. 1. С. 88--90
- Chkhalo N.I., Salashchenko N.N. // AIP Adv. 2013. V. 3. N 8. P. 082130
- Chao W., Harteneck B.D., Liddle J.A., Anderson E.H., Attwood D.T. // Nature. 2005. V. 435. N 7046. P. 1210
- Suzuki M., Daido H., Choi I.W., Yu, W., Nagai K., Norimatsu T., Fiedorowicz H. // Phys. Plasm. 2003. V. 10. N 1. P. 227--233
- Smirnov M.B., Becker W. // Phys. Rev. A. 2006. V. 74. N 1. P. 013201
- Chkhalo N.I., Garakhin S.A., Golubev S.V., Lopatin A.Ya., Nechay A.N., Pestov A.E., Salashchenko N.N., Toropov M.N., Tsybin N.N., Vodopyanov A.V., Yulin S. // Appl. Phys. Lett. 2018. V. 112. N 22. P. 221101
- Fiedorowicz H., Bartnik A., Szczurek M., Daido H., Sakaya N., Kmetik V., Nakayama T. // Opt. Commun. 1999. V. 163. N 1--3. P. 103
- Tao Y., Tillack M.S., Sequoia K.L., Burdt R.A., Yuspeh S., Najmabadi F. // Appl. Phys. Lett. 2008. V. 92. N 25. P. 251501
- Higashiguchi T., Otsuka T., Yugami N., Jiang W., Endo A., Li B., Kilbane D., Dunne P., O'Sullivan G. // Appl. Phys. Lett. 2011. V. 99. N 19. P. 191502
- Fukugaki K., Amano S., Shimoura A., Inoue T., Miyamoto S., Mochizuki T. // Rev. Sci. Instr. 2006. V. 77. P. 063114
- Hansson B.A.M., Hemberg O., Hertz H.M. // Rev. Sci. Instr. 2004. V. 75. N 6. P. 2122--2129
- Нечай А.Н., Салащенко Н.Н., Чхало Н.И. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2017. В. 5. С. 17
- Wieneke S., Bruckner S., Viol W. // Phys. Plasm. 2008. V. 15. N 12. P. 122508
- Kelly R.L., Palumbo L.J. Atomic and Ionic Emission Lines below 2000 Angstroms--Hydrogen through Krypton. Washington DC: Naval Research Lab, 1973. N NRL-7599
- NIST Atomic Spectra Database, Gaithersburg, 2009--2019. https://www.nist.gov/pml/atomic-spectra-database
- Kranzusch S., Mann K. // Opt. Commun. 2001. V. 200. N 1-6. P. 223--230
- Lebert R. et al. // Microelectronic Engineering. 1999. V. 46. N 1-4. P. 465--468
- Peach G., Saraph H.E., Seaton M.J. // J. Phys. B. 1988. V. 21. N 22. P. 3669
- Tully J.A., Seaton M.J., Berrington K.A. // J. Phys. B. 1990. V. 23. N 21. P. 3811
- Muller M., Mey T., Niemeyer J., Lorenz M., Mann K. // AIP Conf. Proc. 2016. V. 1764. N 1. P. 030003
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
