Оптика и спектроскопия
Авторам
О возможности применения фторидных неодим-активированных кристаллов в качестве светоуправляемого затвора для излучения ArF-лазера (193 nm)
Аглямов Р.Д.1, Наумов А.К.1, Ловчев А.В.1, Морозов О.А.1
1Казанский федеральный университет, Казань, Россия 
Поступила в редакцию: 1 декабря 2020 г.
В окончательной редакции: 1 декабря 2020 г.
Принята к печати: 15 декабря 2020 г.
Выставление онлайн: 26 января 2021 г.
Сообщено об оптических свойствах кристаллов фторидов KY3F10:Nd3+, Na3Y6F22:Nd3+, SrF2:Nd3+ и CaF2:Nd3+ в УФ и ВУФ областях спектра. Спектры поглощения из основного (4I9/2) и из возбужденного (4F3/2) состояний зарегистрированы в диапазоне длин волн от 190 до 240 nm. Спектры поглощения из возбужденного состояния показывают существенное приращение коэффициентов поглощения исследованных образцов в области длин волн 193 nm при накачке состояния 4F3/2 ионов Nd3+ ИК излучением. Полученные результаты демонстрируют возможность применения этих кристаллов в качестве оптических затворов для УФ и ВУФ диапазона, управляемых внешним лазерным ИК излучением, например для излучения эксимерного ArF-лазера с длиной волны 193 nm, которое начало применяться в фотолитографии. Ключевые слова: фторидный кристалл, ионы неодима, ВУФ, УФ, спектр поглощения, поглощение из возбужденного состояния, оптический затвор, 193 nm, эксимерный ArF-лазер.
- Dubinskii M.A., Cefalas A.C., Sarantopoulou E., Abdulsabirov R.Yu., Korableva S.L., Naumov A.K., Semashko V.V. // Opt. Commun. 1992. V. 94. N 1-3. P. 115. doi 10.1016/0030-4018(92)90417-P
- Kolia Z., Sarantopoulou E., Cefalas A.C., Nicolaides C.A., Naumov A.K., Semashko V.V., Abdulsabirov R.Yu., Korableva S.L., Dubinskii M.A. // JOSA B. 1995. V. 12. N 5. P. 782. doi 10.1364/JOSAB.12.000782
- Van Pieterson L., Reid M.F., Wegh R.T., Soverna S., Meijerink A. // Phys. Rev. B. 2002. V. 65. N 4. P. 451131
- Peijzel P.S., Vergeer P., Meijerink A., Reid M.F., Boatner L.A., Burdick G.W. // Phys. Rev. B. 2005. V. 71. P. 045116. doi 10.1103/PhysRevB.71.045116
- Guyot Y., Guy S., Joubert M.F. // J. Alloys Compd. 2001. V. 323--324. P. 722. doi 10.1016/S0925-8388(01)01059-3
- Lawson J.K., Payne S.A. // JOSA B. 1991. V. 8. N 7. P. 1404. doi 10.1364/JOSAB.8.001404
- Fornasiero L., Kellner T., Kuck S., Meyn J.P., Mobert P.E.-A., Huber G. // Appl. Phys. B. 1999. V. 68. N 1. P. 67. doi 10.1007/s003400050587
- Lindner R., Stamm U., Patzel R., Basting D. // Microelectronic Engineering. 1998. V. 41--42. P. 75. doi 10.1016/S0167-9317(98)00016-1
- Aesa A.A., Walton C.D. // Appl. Phys. A. Mater. Sci. Process. 2018. V. 124. N 6. P. 465. doi 10.1007/s00339-018-1859-z
- Blum S.E., Srinivasan R., Wynne J.J., Kisco Mt. Patent US4784135, 1986
- Dubinskii M.A. // J. Mod. Opt. 1991. V. 38. N 11. P. 2323. doi 10.1080/09500349114552371
- Zharikov E.V., Lis D.A., Subbotin K.A., Dudnikova V.B., Zaitseva O.N. // Phys. Pol. A. 2013. V. 124. N 2. P. 274. doi 10.12693/APhysPolA.124.274
- Akgul F.A., Gumu C., Er A.O., Farha A.H., Akgul G., Ufuktepe Y., Liu Z. // J. Alloys Compd. 2013. V. 579. P. 50. doi 10.1016/j.jallcom.2013.05.057
- Марфунин А.С. Введение в физику минералов. М.: Недра, 1974. 328 с
- Dmitruk M.V., Kaminskii A.A. // Soviet Physics JETP. 1968. V. 26. N 3. P. 531
- Denks V., Savikhina T., Nagirnyi V. // Appl. Surf. Sci. 2000. V. 158. N 3. P. 301. doi 10.1016/S0169-4332(00)00009-X
- Williams R.T., Nagel D.J., Klein P.H., Weber M.J. // J. Appl. Phys. 1981. V. 52. N 10. P. 6279. doi 10.1063/1.328572
- Soifer L.M., Shakhnovich M.I., Chubenko A.I., Blank A.B. // J. Appl. Spect. 1965. V. 2. N 1. P. 15. doi 10.1007/BF00658077
- Bezhanov V.A., Mikhailin V.V., Chernov S.P., Karimov D.N., Sobolev B.P. // Opt. Spectrosc. 2006. V. 101. N 4. P. 571. doi 10.1134/S0030400X06100122
- Xue C., Yi K., Wei C., Shao J., Fan Z. // Proc. SPIE. 2009. V. 7283. P. 72831E. doi 10.1117/12.828661
- Guyot Y., Collombet A., Somatri T., Tkachuk A., Joubert M.-F. // J. Alloys Compd. 2002. V. 341. P. 174--178
- Masada I., Nawata T., Inui Y., Date T., Mabuchi T., Nishijima E., Fukuda T. // Proc. SPIE. 2006. V. 6154. P. 61542P. doi 10.1117/12.657249
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
