Оптика и спектроскопия

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Оптические характеристики неоднородного слоя титаната бария, легированного европием

DOI: 10.21883/OS.2021.04.50782.287-20

Стаськов Н.И.

¹, Сотский А.Б.

¹, Сотская Л.И.

², Гапоненко Н.В.

³, Лашковская Е.И.³, Петлицкий А.Н.⁴, Козлов А.А.⁵

¹Могилевский государственный университет имени А.А. Кулешова, Могилев, Беларусь Kuleshov State University, Mogilev, Belarus

²Белорусско-Российский университет, Могилев, Беларусь Belarusian–Russian University, Mogilev, Belarus

³Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics, Minsk, Belarus

Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics, Minsk, Belarus

⁴Белмикросистемы НТЦ Филиал ОАО Интеграл, Минск, Беларусь STC “Belmikrosystemy” of the JSC “Integral”, Minsk, Belarus

⁵Пермский государственный национальный исследовательский университет, Пермь, Россия Perm State University, Perm, Russia

Email: ni_staskov@mail.ru, ab_sotsky@mail.ru, li_sotskaya@tut.by, nik@nano.bsuir.edu.by, katerinaxy90@gmail.com

Поступила в редакцию: 26 ноября 2020 г.

В окончательной редакции: 24 декабря 2020 г.

Принята к печати: 26 декабря 2020 г.

Выставление онлайн: 26 января 2021 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Разработан алгоритм решения обратной задачи многоугловой спектрофотометрии неоднородной поглощающей пленки, основанный на полиномиальных представлениях плотности материала пленки и его комплексного коэффициента рефракции. Алгоритм применен для определения спектральных и пространственных распределений показателей преломления и поглощения пленки титаната бария, легированного европием. Пленка нанесена по золь-гель-технологии на слой диоксида кремния, находящийся на кремниевой подложке. Корректность полученного решения проверена сравнением рассчитанных и измеренных спектров эллипсометрических углов и спектров отражательной способности структуры при нормальном падении света. Легирование европием титаната бария приводит к уменьшению длины волны, соответствующей краю полосы собственного поглощения, увеличению ширины запрещенной зоны материала в приповерхностном слое пленки и снижению концентрации европия вглубь пленки. Ключевые слова: многоугловая спектрофотометрия, эллипсометрия, неоднородный поглощающий слой, оптические характеристики титаната бария, легированного европием.

Tikhonravov A.V., Trubetskov M.K., Amotchkina T.V., DeBell G., Pervak V., Krasilnikova Sytchkova A., Grilli M.L., Ristau D. // Applied Optics. 2011. V. 50. N 9. P. C75. doi 10.1364/AO.50.000C75
Стаськов Н.И., Сотский А. Б., Михеев С.С., Гапоненко Н.В., Холов П.А., Райченок Т.Ф. // ЖПС. 2020. Т. 87. N 6. С. 918
Karvounis A., Timpu F., Vogler-Neuling V.V., Savo R., Grange R. // Advanced Optical Materials. 2020. P. 202001249. doi 10.1002/adom.202001249
Strek W., Hreniak D., Boulon G., Guyot Y., Pazik R. // Optical Material. 2003. V. 24. N 1-2. P. 15. doi 10.1016/S0925-3467(03)00099-5
Gaponenko N.V., Kholov P.A., Raichenok T.F., Prislopski S.Ya. // Optical Materials. 2019. V. 96. P. 109265. doi 10.1016/j.optmat.2019.109265
Kim B.G., Parikh K.S., Ussery G., Zakhidov A., Baughman R.H., Yablonovitch E., Dunn B.S. // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 81. P. 4440. doi 10.1063/1.1526163
Polman A. // J. Appl. Phys. 1997. V. 82. N 1. P. 1. doi 10.1063/1.366265
Vredenberg A.M., Hunt N.E.J., Schubert E.F., Jacobson D.C., Poate J.M., Zydzik G.J. // Phys. Rev. Lett. 1993. V. 71. P. 517. doi 10.1103/PhysRevLett.71.517
Пшеницын В.И., Абаев М.И., Лызлов Н.Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. Л.: Химия, 1986. 41 с
Сотский А.Б., Кривецкий К.Н., Парашков С.О., Сотская Л.И. // ЖПС. 2016. Т. 83. N 5. С. 809. doi 10.1007/s10812-016-0373-3
Wemple S.H., Didomenico E.M., Camlibel I. // J. Phys. Chem. Solids. 1968. V. 29. P. 1797. doi 10.1016/0022-3697(68)90164-9
Стаськов Н.И., Мухаммедмурадов А.А., Крекотень Н.А., Парашков С.О. // ЖПС. 2020. Т. 87. N 1. С. 122. doi 10.1007/s10812-020-00970-y
Kenyon A.J. // Progress in Quantum Electronics. 2002. V. 26. P. 225--284. doi 10.1016/S0079-6727(02)00014-9

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель