Оптика и спектроскопия

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Параметрическая модель спектров оптических постоянных Hg_1-xCd_xTe и определение состава соединения

DOI: 10.21883/OS.2020.12.50315.349-20

Переводная версия: 10.1134/S0030400X20121042

Швец В.А.^1,2, Марин Д.В.¹, Ремесник В.Г.¹, Азаров И.А.¹, Якушев М.В.¹, Рыхлицкий С.В.¹

¹Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

²Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия Novosibirsk State University, Novosibirsk, Russia

Email: basi5353@mail.ru, marin@isp.nsc.ru, remesnik@isp.nsc.ru, azarov_ivan@mail.ru, yakushev@isp.nsc.ru, rhl@isp.nsc.ru

Выставление онлайн: 21 сентября 2020 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Представлена параметрическая модель, описывающая спектры оптических постоянных n(λ) и k(λ) твердого раствора Hg_1-xCd_хTe (КРТ) для значений x в диапазоне от 0.2 до 0.4. Модель базируется на эмпирических данных, измеренных in situ в процессе эпитаксиального роста слоев твердого раствора. Рассмотрены варианты использования полученной модели для определения состава КРТ in situ в реальном времени. Предложена методика определения состава, основанная на спектральных эллипсометрических измерениях, которая обеспечивает погрешность не более delta x =±0.0035. Ключевые слова: кадмий-ртуть-теллур, состав соединения, эллипсометрия, спектры оптических констант, in situ контроль.

Adachi S. Optical constants of crystalline and amorphous semiconductors. Numerical data and graphical information. Kluwer Academic Publishers, 1999. 714 с
Arvin H., Aspnes D.E. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1984. V. 2. N 3. P. 1316
Vina L., Umbach C., Cardona M., Vodopyanov L. // Phys. Rev. B. 1984. V. 29. N 12. P. 6752
De Lion T.J., Olson G.L., Roth J.A., Jensen J.E., Hunter A.T., Jack M.D., Bailey S.L. // J. Electron. Mater. 2002. V. 31. N 7. P. 688
Johs B., Herzinger C., Dinan J.H., Cornfeld A., Benson J.D. // Thin Sol. Films. 1998. V. 313-314. P. 137
Almedia L.A., Dinan J.H. // J. Cryst. Growth. 1999. V. 201/202. P. 22
Mercury Cadmium Telluride. Growth, Properties and Applications / Ed. by P. Capper and J. Garland. Wiley, 2011
Moritani A., Sekiya H., Taniguchi K. // Jap. J. Appl. Phys. 1971. V. 10. N 10. P. 1410
Rosch M., Alzmuller R., Schaack G., Becker C.R. // Phys. Rev. B. 1994. V. 49. P. 13460
Kim C.C., Daraselia M., Garland J.W., Sivananthan S. // Phys. Rev. B. 1997. V. 56. N 8. P. 4786
Adachi S., Kimura T., Suzuki N. // J. Appl. Phys. 1993. V. 74. N 5. P. 3435
Chu J., Mi Z., Tang D. // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. P. 3955. doi 10.1063/1.350867
Liu K., Chu J.H., Tang D.Y. // J. Appl. Phys. 1994. V. 75. N 8. P. 4176
Phillips J., Edwall D., Lee D., Arias J. // J. Vac. Sci. Technol. 2001. V. B19. N 4. P. 1580
Edwall D., Phillips J., Lee D., Arias J. // J. Electron. Mater. 2001. V. 30. N 6. P. 643
Johs B., Herzinger C., Dinan J.H., Cornfeld A., Benson J.D., Doctor D., Olson G., Ferguson I., Pelczynski M., Ghow P., Kuo C.H., Johnson S. // Thin Sol. Films. 1998. V. 313-314. P. 490
Svitashev K.K., Dvoretsky S.A., Sidorov Yu.G., Shvets V.A., Mardezhov A.S., Nis I.E., Varavin V.S., Liberman V., Remesnik V.G. // Cryst. Res. Technol. 1994. V. 29. N 7. P. 931
Швец В.А., Михайлов Н.Н., Икусов Д.Г., Ужаков И.Н., Дворецкий С.А. // Опт. и спектр. 2019. Т. 127. В. 2. С. 318
Djurivsic A.B., Li E.H. // J. Appl. Phys. 1999. V. 85. N 5. P. 2854
Сидоров Ю.Г., Дворецкий С.А., Михайлов Н.Н., Якушев М.В., Варавин B.C., Анциферов А.П. // Оптический журнал. 2000. Т. 67. С. 39
Швец В.А., Азаров И.А., Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Якушев М.В., Марин Д.В., Михайлов Н.Н., Кузьмин В.Д., Ремесник В.Г., Дворецкий С.А. // ПТЭ. 2016. N 6. С. 87
Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Швец В.А. // Автометрия. 2011. Т. 47. N 5. С. 5
Finkman E., Schacham S.E. // J. Appl. Phys. 1984. V. 56. N 10. P. 2896
Svitashev K.K., Shvets V.A., Mardezhov A.S., Dvoretsky S.A., Sidorov Yu.G., Mikhailov N.N., Spesivtsev E.V., Rychlitsky S.V. // Mat. Sci. Engineer. 1997. V. B44. P. 164
Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель