Вышедшие номера
Home » Оптика и спектроскопия » Год 2020, выпуск 12 » Статья стр. 1815
<<<>>>
Параметрическая модель спектров оптических постоянных Hg1-xCdxTe и определение состава соединения
DOI: 10.21883/OS.2020.12.50315.349-20
Переводная версия: 10.1134/S0030400X20121042
Швец В.А.1,2, Марин Д.В.1, Ремесник В.Г.1, Азаров И.А.1, Якушев М.В.1, Рыхлицкий С.В.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Email: basi5353@mail.ru, marin@isp.nsc.ru, remesnik@isp.nsc.ru, azarov_ivan@mail.ru, yakushev@isp.nsc.ru, rhl@isp.nsc.ru
Выставление онлайн: 21 сентября 2020 г.
PDF версия
Представлена параметрическая модель, описывающая спектры оптических постоянных n(λ) и k(λ) твердого раствора Hg1-xCdхTe (КРТ) для значений x в диапазоне от 0.2 до 0.4. Модель базируется на эмпирических данных, измеренных in situ в процессе эпитаксиального роста слоев твердого раствора. Рассмотрены варианты использования полученной модели для определения состава КРТ in situ в реальном времени. Предложена методика определения состава, основанная на спектральных эллипсометрических измерениях, которая обеспечивает погрешность не более delta x =±0.0035. Ключевые слова: кадмий-ртуть-теллур, состав соединения, эллипсометрия, спектры оптических констант, in situ контроль.
  1. Adachi S. Optical constants of crystalline and amorphous semiconductors. Numerical data and graphical information. Kluwer Academic Publishers, 1999. 714 с
  2. Arvin H., Aspnes D.E. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1984. V. 2. N 3. P. 1316
  3. Vina L., Umbach C., Cardona M., Vodopyanov L. // Phys. Rev. B. 1984. V. 29. N 12. P. 6752
  4. De Lion T.J., Olson G.L., Roth J.A., Jensen J.E., Hunter A.T., Jack M.D., Bailey S.L. // J. Electron. Mater. 2002. V. 31. N 7. P. 688
  5. Johs B., Herzinger C., Dinan J.H., Cornfeld A., Benson J.D. // Thin Sol. Films. 1998. V. 313-314. P. 137
  6. Almedia L.A., Dinan J.H. // J. Cryst. Growth. 1999. V. 201/202. P. 22
  7. Mercury Cadmium Telluride. Growth, Properties and Applications / Ed. by P. Capper and J. Garland. Wiley, 2011
  8. Moritani A., Sekiya H., Taniguchi K. // Jap. J. Appl. Phys. 1971. V. 10. N 10. P. 1410
  9. Rosch M., Alzmuller R., Schaack G., Becker C.R. // Phys. Rev. B. 1994. V. 49. P. 13460
  10. Kim C.C., Daraselia M., Garland J.W., Sivananthan S. // Phys. Rev. B. 1997. V. 56. N 8. P. 4786
  11. Adachi S., Kimura T., Suzuki N. // J. Appl. Phys. 1993. V. 74. N 5. P. 3435
  12. Chu J., Mi Z., Tang D. // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. P. 3955. doi 10.1063/1.350867
  13. Liu K., Chu J.H., Tang D.Y. // J. Appl. Phys. 1994. V. 75. N 8. P. 4176
  14. Phillips J., Edwall D., Lee D., Arias J. // J. Vac. Sci. Technol. 2001. V. B19. N 4. P. 1580
  15. Edwall D., Phillips J., Lee D., Arias J. // J. Electron. Mater. 2001. V. 30. N 6. P. 643
  16. Johs B., Herzinger C., Dinan J.H., Cornfeld A., Benson J.D., Doctor D., Olson G., Ferguson I., Pelczynski M., Ghow P., Kuo C.H., Johnson S. // Thin Sol. Films. 1998. V. 313-314. P. 490
  17. Svitashev K.K., Dvoretsky S.A., Sidorov Yu.G., Shvets V.A., Mardezhov A.S., Nis I.E., Varavin V.S., Liberman V., Remesnik V.G. // Cryst. Res. Technol. 1994. V. 29. N 7. P. 931
  18. Швец В.А., Михайлов Н.Н., Икусов Д.Г., Ужаков И.Н., Дворецкий С.А. // Опт. и спектр. 2019. Т. 127. В. 2. С. 318
  19. Djurivsic A.B., Li E.H. // J. Appl. Phys. 1999. V. 85. N 5. P. 2854
  20. Сидоров Ю.Г., Дворецкий С.А., Михайлов Н.Н., Якушев М.В., Варавин B.C., Анциферов А.П. // Оптический журнал. 2000. Т. 67. С. 39
  21. Швец В.А., Азаров И.А., Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Якушев М.В., Марин Д.В., Михайлов Н.Н., Кузьмин В.Д., Ремесник В.Г., Дворецкий С.А. // ПТЭ. 2016. N 6. С. 87
  22. Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Швец В.А. // Автометрия. 2011. Т. 47. N 5. С. 5
  23. Finkman E., Schacham S.E. // J. Appl. Phys. 1984. V. 56. N 10. P. 2896
  24. Svitashev K.K., Shvets V.A., Mardezhov A.S., Dvoretsky S.A., Sidorov Yu.G., Mikhailov N.N., Spesivtsev E.V., Rychlitsky S.V. // Mat. Sci. Engineer. 1997. V. B44. P. 164
  25. Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme