Оптика и спектроскопия

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Спектральные и рентгеновские исследования пленок оксида индия на сапфировых подложках

DOI: 10.21883/OS.2020.10.50029.138-20

Переводная версия: 10.1134/S0030400X20100252

Тихий А.А.¹, Николаенко Ю.М.², Жихарева Ю.И.³, Жихарев И.В.²

¹Луганский национальный университет им. Тараса Шевченко, Луганск, Украина Lugansk Taras Shevchenko National University, Lugansk, Ukraine

²Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина, Донецк, Украина Donetsk Institute for Physics and Engineering, Donetsk, Ukraine

³Киевский национальный университет им. Тараса Шевченко, Киев, Украина Taras Shevchenko National University of Kyiv, Kyiv, Ukraine

Email: ea0000ffff@mail.ru

Выставление онлайн: 22 июля 2020 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Представлены результаты исследования спектров оптического пропускания и рентгеновской дифракции тонких пленок In₂O₃, полученных методом DC-магнетронного распыления на подложках Al₂O₃ (012). В дифрактограммах присутствует рефлекс, соответствующий плоскости (222) кубического In₂O₃. Его положение смещается с 30.3 к 30.6^o при уменьшении толщины пленки. Полуширина этого рефлекса убывает с уменьшением времени напыления, что может указывать на увеличение размера зерен материала пленки. Согласно измерениям оптического пропускания, на границе раздела между пленкой и подложкой было установлено наличие переходного слоя с шириной запрещенной зоны 1.39 eV и толщиной около 40 nm. Свойства этого слоя не зависят от времени напыления. Ключевые слова: оксид индия, тонкие пленки, оптическое пропускание, рентгеноструктурный анализ.

Korotcenkov G., Brinzari V., Cho B.K. // J. of Sensors. 2016. V. 2016. Article ID 3816094. 31 p. doi 10.1155/2016/3816094
Abbasi M., Rozati S.M. // J. of Electronic Materials. 2016. V. 45 P. 2855. doi 10.1007/s11664-015-4315-2
Kadhim M.A., Ramadhan A.A., Al-Gburi M.O.S., Habi G.J., Hentawe N.J. // Karbala International J. of Modern Science. 2020. V. 6. Iss. 1. Article 12. doi 10.33640/2405-609X.1403
Nikolaenko Yu.M., Artemov A.N., Medvedev Yu.V., Efros N.B., Zhikharev I.V., Reshidova I.Yu., Tikhii A.A., Kara-Murza S.V. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2016. V. 49. P. 375302. doi 10.1088/0022-3727/49/37/375302
Николаенко Ю.М., Мухин А.Б., Чайка В.А., Бурховецкий В.В. // ЖТФ. 2010. Т. 80. С. 115; Nikolaenko Yu.M., Mukhin A.B., Chaika V.A., Burkhovetskii V.V. // Tech. Phys. 2010. V. 55 P. 1189. doi 10.1134/S1063784210080189
Swanson H.E., Gilfrich N.T., Ugrinic G.M. // Circular of the Bureau of Standards no. 539. V. 5: standard x-ray diffraction powder patterns, National Bureau of Standards (US). 1955. P. 26
Ghorannevis Z., Akbarnejad E., Ghoranneviss M. // J. Theor Appl. Phys. 2015. V. 9. P. 285. doi 10.1007/s40094-015-0187-3
Lehmann D., Seidel F., Zahn D.R.T. // SpringerPlus. 2014. V. 3. P. 82. doi 10.1186/2193-1801-3-82
Tikhii A.A., Nikolaenko Yu.M., Kornievets A.S., Svyrydova K.A., Zhikhareva Yu.I., Zhikharev I.V. // J. Appl. Spectrosc. 2019. V. 86. P. 1053. doi 10.1007/s10812-020-00939-x
Tompkins H.G., Irene E.A. (Eds), Handbook of Ellipsometry. USA: William Andrew Publishing, 2005. 891 p
Jarzebski Z.M. // Phys. Stat. Sol. (a). 1982. V. 71 P. 13. doi 10.1002/pssa.2210710102

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель