Представлены результаты исследования спектров оптического пропускания и рентгеновской дифракции тонких пленок In₂O₃, полученных методом DC-магнетронного распыления на подложках Al₂O₃ (012). В дифрактограммах присутствует рефлекс, соответствующий плоскости (222) кубического In₂O₃. Его положение смещается с 30.3 к 30.6^o при уменьшении толщины пленки. Полуширина этого рефлекса убывает с уменьшением времени напыления, что может указывать на увеличение размера зерен материала пленки. Согласно измерениям оптического пропускания, на границе раздела между пленкой и подложкой было установлено наличие переходного слоя с шириной запрещенной зоны 1.39 eV и толщиной около 40 nm. Свойства этого слоя не зависят от времени напыления. Ключевые слова: оксид индия, тонкие пленки, оптическое пропускание, рентгеноструктурный анализ.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.