Спектральные и рентгеновские исследования пленок оксида индия на сапфировых подложках
Тихий А.А.1, Николаенко Ю.М.2, Жихарева Ю.И.3, Жихарев И.В.2
1Луганский национальный университет им. Тараса Шевченко, Луганск, Украина
2Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина, Донецк, Украина
3Киевский национальный университет им. Тараса Шевченко, Киев, Украина
Email: ea0000ffff@mail.ru
Выставление онлайн: 22 июля 2020 г.
Представлены результаты исследования спектров оптического пропускания и рентгеновской дифракции тонких пленок In2O3, полученных методом DC-магнетронного распыления на подложках Al2O3 (012). В дифрактограммах присутствует рефлекс, соответствующий плоскости (222) кубического In2O3. Его положение смещается с 30.3 к 30.6o при уменьшении толщины пленки. Полуширина этого рефлекса убывает с уменьшением времени напыления, что может указывать на увеличение размера зерен материала пленки. Согласно измерениям оптического пропускания, на границе раздела между пленкой и подложкой было установлено наличие переходного слоя с шириной запрещенной зоны 1.39 eV и толщиной около 40 nm. Свойства этого слоя не зависят от времени напыления. Ключевые слова: оксид индия, тонкие пленки, оптическое пропускание, рентгеноструктурный анализ.
- Korotcenkov G., Brinzari V., Cho B.K. // J. of Sensors. 2016. V. 2016. Article ID 3816094. 31 p. doi 10.1155/2016/3816094
- Abbasi M., Rozati S.M. // J. of Electronic Materials. 2016. V. 45 P. 2855. doi 10.1007/s11664-015-4315-2
- Kadhim M.A., Ramadhan A.A., Al-Gburi M.O.S., Habi G.J., Hentawe N.J. // Karbala International J. of Modern Science. 2020. V. 6. Iss. 1. Article 12. doi 10.33640/2405-609X.1403
- Nikolaenko Yu.M., Artemov A.N., Medvedev Yu.V., Efros N.B., Zhikharev I.V., Reshidova I.Yu., Tikhii A.A., Kara-Murza S.V. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2016. V. 49. P. 375302. doi 10.1088/0022-3727/49/37/375302
- Николаенко Ю.М., Мухин А.Б., Чайка В.А., Бурховецкий В.В. // ЖТФ. 2010. Т. 80. С. 115; Nikolaenko Yu.M., Mukhin A.B., Chaika V.A., Burkhovetskii V.V. // Tech. Phys. 2010. V. 55 P. 1189. doi 10.1134/S1063784210080189
- Swanson H.E., Gilfrich N.T., Ugrinic G.M. // Circular of the Bureau of Standards no. 539. V. 5: standard x-ray diffraction powder patterns, National Bureau of Standards (US). 1955. P. 26
- Ghorannevis Z., Akbarnejad E., Ghoranneviss M. // J. Theor Appl. Phys. 2015. V. 9. P. 285. doi 10.1007/s40094-015-0187-3
- Lehmann D., Seidel F., Zahn D.R.T. // SpringerPlus. 2014. V. 3. P. 82. doi 10.1186/2193-1801-3-82
- Tikhii A.A., Nikolaenko Yu.M., Kornievets A.S., Svyrydova K.A., Zhikhareva Yu.I., Zhikharev I.V. // J. Appl. Spectrosc. 2019. V. 86. P. 1053. doi 10.1007/s10812-020-00939-x
- Tompkins H.G., Irene E.A. (Eds), Handbook of Ellipsometry. USA: William Andrew Publishing, 2005. 891 p
- Jarzebski Z.M. // Phys. Stat. Sol. (a). 1982. V. 71 P. 13. doi 10.1002/pssa.2210710102
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.