Исследован пористый кремний с наблюдаемой фотолюминесценцией с кристаллографической ориентацией (100), легированной бором, который был изготовлен на основе кремниевой подложки p-типа проводимости с использованием метода электрохимического травления в растворе, содержащем кремнефтористоводородную кислоту и этиловый спирт. Выполнен сравнительный анализ морфологии, структурных и оптических свойств кремниевых наноструктур, полученных в растворе, содержащем H₂(SiF₆) и этанол, и образцов, полученных в растворе, содержащем HF и этанол. Морфология, структурные и оптические свойства были изучены с использованием методов сканирующей зондовой микроскопии и спектрофотометрии. Показано, что образцы пористого кремния, полученные в растворе, содержащем H₂(SiF₆) и этанол, характеризуются улучшенными оптическими свойствами, в частности, обладают более интенсивной фотолюминесценцией по сравнению с образцами, полученными в растворах с HF и этиловый спирт. Ключевые слова: пористый кремний, оптические свойства, электрохимическое травление, фотолюминесценция, коэффициент отражения.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.