Оптика и спектроскопия

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Электролюминесценция слоев Ta₂O₅, полученных методом молекулярного наслаивания

DOI: 10.21883/OS.2020.02.48964.282-19

Переводная версия: 10.1134/S0030400X20020046

Барабан А.П. ¹, Дмитриев В.А. ¹, Дрозд В.Е. ¹, Петров Ю.В. ¹, Прокофьев В.А. ¹

¹Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия St. Petersburg State University, St. Petersburg, Russia

Email: alnbaraban@yandex.ru, esssec@gmail.com, vedrozd@mail.ru, y.petrov@spbu.ru, bobapro@yandex.ru

Выставление онлайн: 20 января 2020 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Показана возможность использования электролюминесценции для исследования структур Si-Ta₂O₅ и Si-SiO₂-Ta₂O₅ и получения информации об электронном строении слоя Ta₂O₅ и свойствах границы SiO₂-Ta₂O₅. Предложена модель электронного строения слоя Ta₂O₅, полученного методом молекулярного наслаивания, позволяющая объяснить вид спектрального распределения люминесценции независимо от способа ее возбуждения. Показано, что формирование слоя Ta₂O₅ на поверхности термически окисленного кремния сопровождается трансформацией в приповерхностной области SiO₂ и гашением полосы люминесценции в спектральной области 650 nm. Ключевые слова: электролюминесценция, молекулярное наслаивание, спектральное распределение, электронное строение.

Robertson J., Wallace R. // Mater. Sci. and Engin. 2015. R 88. P. 1
Перевалов Т.В., Гриценко В.А. // УФН. 2010. Т. 180. N 6. С. 587
Константинова-Шлезингер М.А. Люминесцентный анализ. М.: Физ-мат. литература, 1961. 400 с
Барабан А.П., Дмитриев В.А., Петров Ю.В. Электролюминесценция в твердотельных слоистых структурах на основе кремния. СПб.: Изд-во СПб. ун-та, 2009. 195 с
Yacobi B.G., Holt D.B. Cathodoluminescence Microscopy of Inorganic Solids. NY.: Plenum Press, 1990. 292 p
Baraban A.P., Dmitriev V.A., Prokof'ev V.A., Drozd V.E., Filatova E.O. // Techn. Phys. Lett. 2016. V. 42. N 4. P. 341
Baraban A.P., Dmitriev V.A., Drozd V.E., Prokofiev V.A., Samarin S.N., Filatova E.O. // J. Appl. Phys. 2016. V. 119. P. 055307-5
Drozd V.E., Baraban A.P., Nikiforova I.O. // Appl. Surf. Sci. 1994. V. 83. P. 583
Барабан А.П., Селиванов А.А., Дмитриев В.А., Дрозд А.В., Дрозд В.Е. // Письма в ЖТФ. 2019. Т. 45. В. 6. С. 13; Baraban A.P, Selivanov A.A., Dmitriev V.A., Drozd A.V., Drozd V.E. // Techn. Phys. Lett. 2019. V. 45. N 3. P. 255
Sekido Y. // Electronics and Communications in Japan. Part 2. 1994. V. 77. N 6. P. 54
Baraban A.P., Samarin S.N., Prokofiev V.A., Dmitriev V.A., Selivanov A.A., Petrov Y.V. // J. Luminesc. 2019. V. 205. P. 102
Baraban A.P., Dmitriev V.A., Petrov Y.V., Timofeeva K.A. // Semiconductors. 2013. V. 47. N 13. P. 1711

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель