Электролюминесценция слоев Ta2O5, полученных методом молекулярного наслаивания
Барабан А.П.
1, Дмитриев В.А.
1, Дрозд В.Е.
1, Петров Ю.В.
1, Прокофьев В.А.
1
1Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: alnbaraban@yandex.ru, esssec@gmail.com, vedrozd@mail.ru, y.petrov@spbu.ru, bobapro@yandex.ru
Выставление онлайн: 20 января 2020 г.
Показана возможность использования электролюминесценции для исследования структур Si-Ta2O5 и Si-SiO2-Ta2O5 и получения информации об электронном строении слоя Ta2O5 и свойствах границы SiO2-Ta2O5. Предложена модель электронного строения слоя Ta2O5, полученного методом молекулярного наслаивания, позволяющая объяснить вид спектрального распределения люминесценции независимо от способа ее возбуждения. Показано, что формирование слоя Ta2O5 на поверхности термически окисленного кремния сопровождается трансформацией в приповерхностной области SiO2 и гашением полосы люминесценции в спектральной области 650 nm. Ключевые слова: электролюминесценция, молекулярное наслаивание, спектральное распределение, электронное строение.
- Robertson J., Wallace R. // Mater. Sci. and Engin. 2015. R 88. P. 1
- Перевалов Т.В., Гриценко В.А. // УФН. 2010. Т. 180. N 6. С. 587
- Константинова-Шлезингер М.А. Люминесцентный анализ. М.: Физ-мат. литература, 1961. 400 с
- Барабан А.П., Дмитриев В.А., Петров Ю.В. Электролюминесценция в твердотельных слоистых структурах на основе кремния. СПб.: Изд-во СПб. ун-та, 2009. 195 с
- Yacobi B.G., Holt D.B. Cathodoluminescence Microscopy of Inorganic Solids. NY.: Plenum Press, 1990. 292 p
- Baraban A.P., Dmitriev V.A., Prokof'ev V.A., Drozd V.E., Filatova E.O. // Techn. Phys. Lett. 2016. V. 42. N 4. P. 341
- Baraban A.P., Dmitriev V.A., Drozd V.E., Prokofiev V.A., Samarin S.N., Filatova E.O. // J. Appl. Phys. 2016. V. 119. P. 055307-5
- Drozd V.E., Baraban A.P., Nikiforova I.O. // Appl. Surf. Sci. 1994. V. 83. P. 583
- Барабан А.П., Селиванов А.А., Дмитриев В.А., Дрозд А.В., Дрозд В.Е. // Письма в ЖТФ. 2019. Т. 45. В. 6. С. 13; Baraban A.P, Selivanov A.A., Dmitriev V.A., Drozd A.V., Drozd V.E. // Techn. Phys. Lett. 2019. V. 45. N 3. P. 255
- Sekido Y. // Electronics and Communications in Japan. Part 2. 1994. V. 77. N 6. P. 54
- Baraban A.P., Samarin S.N., Prokofiev V.A., Dmitriev V.A., Selivanov A.A., Petrov Y.V. // J. Luminesc. 2019. V. 205. P. 102
- Baraban A.P., Dmitriev V.A., Petrov Y.V., Timofeeva K.A. // Semiconductors. 2013. V. 47. N 13. P. 1711
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
