Эллипсометрическое исследование тонкопленочных структур аморфного гидрогенизированного углерода и наночастиц золота
Толмачев В.А.
1, Щербинин Д.П.2, Коншина Е.А.3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2ITMO University, Saint-Petersburg, Russia
3Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Email: tva@mail.ioffe.ru, shcherbinin.dmitrij@gmail.com, eakonshina@mail.ru
Выставление онлайн: 20 октября 2019 г.
Оптические постоянные пленки аморфного гидрогенизированного углерода (a-C : H) и гибридной структуры на ее основе с гранулированной золотой пленкой до и после их отжига при 300oС исследовались методом спектральной эллипсометрии. Установлены дисперсии n(λ) и k(λ) пленки a-C : H с использованием аппроксимации Коши и ее толщина. Спектральные особенности слоя плазмонных наночастиц Au, осажденные на поверхность a-C : H, моделировались в виде эффективной среды и осциллятора Лоренца. Параметры пленок и их толщина определялись путем подгонки расчетных спектров к эллипсометрическим спектрам psi(λ) и Delta(λ). Полученные данные были использованы для определения параметров осциллятора Лоренца в модели двуслойной структуры a-C : H/Au. В результате отжига структуры a-C : H/Au интенсивность максимумов в спектрах n и k увеличилась, их положение смещалось в синюю область, а полуширина полос уменьшилась. Наблюдаемые изменения в эллипсометрических спектрах полностью согласуется со спектрофотометрическими данными этой структуры. Ключевые слова: тонкие пленки, аморфный гидрогенизированный углерод, наночастицы золота, оптические постоянные. -19
- Jackman J.A., Ferhan A.R., Yoon B.K., Park J.H., Zhdanov V.P., Cho N.J. // Anal. Chem. 2017. V. 89. N 23. P. 12976-12983. doi 10.1021/acs.analchem.7b03921
- Joh D.Y., Kinder J., Herman L.H., Ju S.Y., Segal M.A., Johnson J.N. // Nat. Nanotech. 2011. V. 6. N 1. P. 51-56. doi 10.1038/NNANO.2010.248
- Chang X., Wang Y.F., Zhang X., Liu Z., Fu J., Zhao D., Wang H.X. // Appl. Surf. Sci. 2019. V. 464. P. 455-457. doi 10.1016/j.apsusc.2018.09.087
- Li Z., Li X., Ren Z., Gao Q., Zhang X., Han G. // Opt. Express. 2011. V. 19. N 19. P. 17935-17943. doi 10.1364/OE.19.017935
- Paul R., Hussain S., Pal A.K. // App. Surf. Sci. 2009. V. 255. P. 8076-8083. doi 10.1016/j.apsusc.2009.05.018
- Talu S., Bramowicz M., Kulesza S., Solaymani S., Shafikhani A., Ghaderi A., Ahmadiraded M. // Ind. Eng. Chem. Res. 2016. V. 35. P. 158-166
- Meskinis S., Ciegis A., Vasiliauskas A., Slapikas K., Gudaitis R., Yaremchuk I., Fitio V., Bobitski Y., Tamulevicius S. // Nanoscale Res. Lett. 2016. V. 11. P. 146. doi 10.1186/s11671-016-1362-4
- Hediyeh Gholamalia, Azizollah Shafiekhanib, Elham Darabia, Seyed Mohammad Elahi //Results in Physics. 2018. V. 8. P. 336-340. doi 10.1016/j.rinp.2017.12.033
- Ghosh B., Guzman-Olivos F., Espinoza-Gonzalez R. // J. Mater. Sci. 2017. V. 52. P. 218-228. doi 10.1007/s10853-016-0324-7
- Коншина Е.А., Щербинин Д.П., Abboud М.М., Гладских И.А. //Опт. испектр. 2018. Т. 125. N 2. С. 274-276; Konshina E.A., Shcherbinin D.P., Abboud М.М., Gladskikh I.A. // Opt. Spectrosc. 2018. V. 125. N 2. P. 290-292. doi 10.1134/S0030400X18080155
- Khmelevskaya D., Shcherbinin D.P., Konshina E.A., Abboud M.M. Dubavik A., Gladskikh I.A. // Opt. Spectrosc. 2018. V. 125. N 5. P. 731-734. doi 10.1134/S0030400X18110140
- Konshina E.A., Shcherbinin D.P., Abboud М.М., Bogdanov K.V., Gladskikh I.A., Polischuk V.A. // App. Surf. Sci. 2019. V. 471. P. 652-657. doi 10.1016/j.apsusc.2018.12.078
- Noguez C. // Opt. Mater. 2005. V. 27. N 7. P. 1204-1211. doi 10.1016/j.optmat.2004.11.012
- Noguez C. // J. Phys. Chem. C 2007. V. 111. N 10. P. 3806-3819. doi 10.1021/jp066539m
- Yaremchuk I., Tamuleviciene A., Tamulevicius T., Slapikas K., Balevicius Z., Tamulevicius S. // Phys. Stat. Solidi A. App. and Mat. Sci. 2014. V. 211. N 2. P. 329-335. doi 10.1002/pssa.201330067
- Zhe Li, Gang Xu, Zhaohui Ren, Xiwen Zhang, Ge Shen, Xiang Li, Gaorong Han. // J. Non-Cryst. Solids. 2012. V. 358. P. 1725-1729
- Azzam R.M.A., Bashara N.M. Ellipsometry and Polarized Light. Amsterdam,N.Y., Oxford: North-Holland Publ. Co, 1977; Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. С. 316
- Zhou X.L., Suzuki T., Nakajima H., Komatsu K., Kanda K., Ito H., Saitoh H. // Appl. Phys. Lett. 2017. V. 110. N 20. P. 201902. doi 10.1063/1.4983643
- Montiel-Gonzalez Z., Rodil S.E., Muhl S., Mendoza-Galvan A., Rodriguez-Fernandez L. // Thin Solid Films. 2011. V. 519. N 18. P. 5924-5932. doi 10.1016/j.tsf.2011.03.024
- Konshina E.A. // Crystalline and Non-crystalline Solids. InTech. 2016. P. 126. doi 10.5772/62704
- Швец В.А., Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Михайлов Н.Н. // Рос. нанотехнол. 2009. T. 4. N 3-4. С. 201-214; Shvets V.A., Spesivtsev E.V., Rykhlitskii S.V., Mikhailov N.N. // Nanotechnologies in Russia. 2009. V. 4. N 3-4. P. 201-214
- Handbook of Optical Constants of Solids. / Ed by Palik E.D. N.Y.: Academic Press, 1985. P. 804
- Сушко М.Я., Криськив С.К. // ЖТФ. 2009. T. 79. N 3. C. 97-101; Sushko M.Y., Kris'kiv S.K. // Tech. Phys. 2009. V. 54. N 3. P. 423-427. doi 10.1134/S1063784209030165
- Tompkins H.G., Irene E.A. Handbook of Ellipsometry. Norway: William Andrew Inc.-Springer Verlag GmbH, 2005. P. 891
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.