Вышедшие номера
Оптические коэффициенты пленок меди нанометровой толщины в диапазоне 9--11 GHz
Переводная версия: 10.1134/S0030400X19110274
РФФИ, 16-29-09581
РФФИ, 18-29-02094
Вдовин В.А. 1, Андреев В.Г. 2, Глазунов П.С. 2, Хорин И.А.3, Пинаев Ю.В.1
1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
2Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
3Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН, Москва, Россия
Email: vdv@cplire.ru , andreev@acs366.phys.msu.ru, ps.glazunov@physics.msu.ru, khorin@ftian.ru
Выставление онлайн: 20 октября 2019 г.

Измерены коэффициенты отражения, пропускания и поглощения ультратонких пленок меди на кварцевой подложке в волноводе на частотах 9-11 GHz. Пленки толщиной менее 5 nm практически полностью окислены и прозрачны для СВЧ излучения. Проводящий слой формируется при толщине пленок, превышающей 5 nm, однако рост коэффициента отражения с толщиной в диапазоне 5-15 nm происходит медленнее, чем это следует из расчетов, использующих модельную проводимость сплошной пленки. Результаты могут быть объяснены морфологией пленок. Ключевые слова: комплексная диэлектрическая проницаемость, эффективная среда, СВЧ диапазон. -19