Вышедшие номера
Home » Оптика и спектроскопия » Год 2026, выпуск 4 » Статья стр. 361
<<<>>>
Синхротронное фотоэмиссионное исследование пленочных структур оксид/GaSb, модифицированных примесью цинка
Сорокина С.В. 1, Хвостиков В.П. 1, Кузьмин М.В. 1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: svsorokina@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 2 декабря 2025 г.
В окончательной редакции: 2 декабря 2025 г.
Принята к печати: 26 марта 2026 г.
Выставление онлайн: 30 апреля 2026 г.
PDF версия
Методом фотоэлектронной спектроскопии высокого разрешения с применением синхротронного излучения исследованы приборные структуры на основе GaSb, полученные диффузией цинка из газовой фазы. Показано, что способ создания оксидной пленки на GaSb существенным образом влияет на концентрацию атомов Zn в приповерхностной области подложки и что данная примесь, в свою очередь, улучшает полезные свойства пассивирующего слоя. Результаты демонстрируют высокий потенциал метода фотоэлектронной спектроскопии для диагностики приборных полупроводниковых структур на атомном уровне. Ключевые слова: фотоэлектронная спектроскопия с применением синхротронного излучения, GaSb, оксид, диффузия, фотоэлектрический преобразователь.
  1. P. Laukkanen, M.P.J. Punkkinen, M. Kuzmin, K. Kokko, X. Liu, B. Radfar, V. Vahanissi, H. Savin, A. Tukiainen, T. Hakkarainen, J. Viheriala, M. Guina. Rep. Prog. Phys., 87 (4), 044501 (2024). DOI: 10.1088/1361-6633/ad2ac9
  2. С.В. Сорокина. Фотоэлектрические преобразователи энергии на основе антимонида галлия и твердых растворов. Дис. канд. ф.-м. наук (ФТИ им. А.Ф. Иоффе, СПб., 1999). URL: https://rusneb.ru/catalog/000199_000009_000239596/
  3. S.V. Sorokina, V.P. Khvostikov, M.Z. Shvarts. In: Proc. 13th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (Nice, France, 1995), p. 61
  4. В.М. Андреев, В.П. Хвостиков, О.А. Хвостикова, С.В. Сорокина. Способ изготовления фотоэлектрического преобразователя на основе GaSb. Патент РФ N 2710605 от 30.12.2019 [V.M. Andreev, V.P. Khvostikov, O.A. Khvostikova, S.V. Sorokina. Method of manufacturing a GaSb-based photoelectric converter. Patent RU 2710605, registration date 30.12.2019]
  5. V.M. Andreev, V.P. Khvostikov, S.V. Sorokina, V.I. Vasil'ev. In: Proc. 9th International Workshop on Physics of Semiconductor Devices (Delhi, India, 1997), p. 420
  6. Y. Tang, Z. Liu, X. Chen, J. Li, Y. Liu, X. Lv, X. Peng, L. Tang, J. Shao. IEEE Transactions on Electron Devices, 71 (4), 2585 (2024). DOI: 10.1109/TED.2024.3362311
  7. В.М. Андреев, С.В. Сорокина, В.П. Хвостиков. Способ изготовления фотоэлектрического преобразователя. Патент РФ на изобретение N 2354008, решение о выдаче 27 апреля 2009 [V.M. Andreev, S.V. Sorokina, V.P. Khvostikov. Method for preparation of photoelectric transducer. Patent RU 2354008, date of publication 27.04.2009]
  8. S. Hettinger, L. Fraas, B. Francis, J. Avery. In: Proc. European Materials Research Society Spring Meeting (2021). DOI: 10.13140/RG.2.2.14646.01608
  9. A.W. Bett, O.V. Sulima. Semicond. Sci. Technol., 18, S184 (2003). DOI: 10.1088/0268-1242/18/5/307
  10. Y. Liu, L. Tang, J. Shao, Y. Tang, J. Li, X. Lv, Y. Yuan. Appl. Energy, 361, 122959 (2024). DOI: 10.1016/j.apenergy.2024.122959
  11. A. Nainani, Y. Sun, T. Irisawa, Z. Yuan, M. Kobayashi, P. Pianetta, B.R. Bennett, J.B. Boos, K.C. Saraswat. J. Appl. Phys., 109, 114908 (2011). DOI: 10.1063/1.3590167
  12. V.M. Bermudez. J. Appl. Phys., 114, 024903 (2013). DOI: 10.1063/1.4812740
  13. S. McDonnell, B. Brennan, E. Bursa, R.M. Wallace, K. Winkler, P. Baumann. J. Vac. Sci. Technol. B, 32, 041201 (2014). DOI: 10.1116/1.4878940
  14. C.S. Fadley. Surf. Interface Anal., 40, 1579 (2008). DOI: 10.1002/sia.2902
  15. J. Makela, M. Tuominen, M. Yasir, M. Kuzmin, J. Dahl, M.P.J. Punkkinen, P. Laukkanen, K. Kokko. Appl. Surface Science, 369, 520 (2016). DOI: 10.1016/j.apsusc.2016.02.061
  16. H. Hasegawa, H.L. Hartnagel. J. Electrochem. Soc., 123 (5), 713 (1976). DOI: 10.1149/1.2132915
  17. O.V. Sulima, A.W. Bett, J. Wagner. J. Electrochem. Society, 147 (5), 1910 (2000). DOI: 10.1149/1.1393456
  18. Электронный ресурс синхротрона "КИСИ-Курчатов": https://kcsni.nrcki.ru/pages/main/sync/beamlines/nanopes/ index.shtml
  19. А.М. Лебедев, К.А. Меньшиков, В.Г. Назин, В.Г. Станкевич, М.Б. Цетлин, Р.Г. Чумаков. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 10, 44 (2021). DOI: 10.31857/S1028096021100125
  20. D.A. Shirley. Phys. Rev. B, 5, 4709 (1972)
  21. G.H. Major, N. Farley, P.M.A. Sherwood, M.R. Linford, J. Terry, V. Fernandez, K. Artyushkova. J. Vac. Sci. Technol. A, 38, 061203 (2020)
  22. G. Adachi, N. Imanaka. Chem. Rev., 98 (4), 1479 (1998). DOI: 10.1021/cr940055h
  23. М.В. Кузьмин, М.А. Митцев, А.А. Моняк, С.В. Сорокина. ФТТ, 66 (5), 775 (2024). DOI: 10.61011/FTT.2024.05.58084.78 [M.V. Kuzmin, M.A. Mittsev, A.A. Monyak, S.V. Sorokina. Phys. Solid State, 66 (5), 747 (2024). DOI: 10.61011/PSS.2024.05.58507.78]
  24. М.В. Кузьмин. ФТТ, 67 (5), 882 (2025). DOI: 10.61011/FTT.2025.05.60754.111-25 [M.V. Kuzmin. Phys. Solid State, 67 (5), 845 (2025). DOI: 10.61011/PSS.2025.05.61499.111-25]
  25. М.В. Кузьмин, А.А. Моняк, С.В. Сорокина. ФТТ, 66 (7), 1213 (2024). DOI: 10.61011/FTT.2024.07.58397.132 [M.V. Kuzmin, A.A. Monyak, S.V. Sorokina. Phys. Solid State, 66 (7), 1168 (2024). DOI: 10.61011/PSS.2024.07.58994.132]
  26. М.В. Кузьмин, С.В. Сорокина. Опт. и спектр., 132 (10), 1031 (2024). DOI: 10.61011/OS.2024.10.59416.7124-24 [M.V. Kuzmin, S.V. Sorokina. Opt. Spectrosc., 132 (10), 976 (2024). DOI: 10.61011/EOS.2024.10.60054.7124-24]
  27. J.J. Yeh, I. Lindau. Atomic Data and Nuclear Data Tables, 32 (1), 1 (1985). DOI: 10.1016/0092-640X(85)90016-6
  28. D. Xu, D. Fan, W. Shen. Nanoscale Research Letters, 8 (1), 46 (2013). DOI: 10.1186/1556-276X-8-46
  29. Л.В. Гурвич, Г.В. Караченцев, В.Н. Кондратьев, Ю.А. Лебедев, В.А. Медведев, В.К. Потапов, Ю.С. Ходеев. Энергии разрыва химических связей. Потенциалы ионизации и сродство к электрону (Наука, М., 1974)
  30. Большая российская энциклопедия [Электронный ресурс]. URL: https://bigenc.ru/c/oksid-tsinka-88583a
  31. F. Shang, C. Zha, H. Zhu, Z. Zhang, Y. Shen, Q. Hou, L. Zhang, Y. Chu, L. Chen, J. Zhao, W. Fang, Y. Zhang, Z. Cheng, Y. Zhang. Nanoscale, 16, 12534 (2024). DOI: 10.1039/D4NR01022A
  32. W. Barvosa-Carter, A. Bracker, J. Culbertson, B. Nosho, B. Shanabrook, L. Whitman, H. Kim, N. Modine, E. Kaxiras. Phys. Rev. Lett., 84 (20), 4649 (2000). DOI: 10.1103/PhysRevLett.84.4649
  33. O. Romanyuk, V.M. Kaganer, R. Shayduk, B.P. Tinkham, W. Braun. Phys. Rev. B, 77, 235322 (2008). DOI: 10.1103/PhysRevB.77.235322
  34. A. Ali, H.S. Madan, A.P. Kirk, D.A. Zhao, D.A. Mourey, M.K. Hudait, R.M. Wallace, T.N. Jackson, B.R. Bennett, J.B. Boos, S. Datta. Appl. Phys. Lett., 97, 143502 (2010). DOI: 10.1063/1.3492847
  35. L.B. Ruppalt, E.R. Cleveland, J.G. Champlain, S.M. Prokes, J.B. Boos, D. Park, B.R. Bennett. Appl. Phys. Lett., 101, 231601 (2012). DOI: 10.1063/1.4768693
  36. E.R. Cleveland, L.B. Ruppalt, B.R. Bennett, S.M. Prokes. Appl. Surf. Sci., 277, 167 (2013). DOI: 10.1016/j.apsusc.2013.04.018
  37. N. Miyata, A. Ohtake, M. Ichikawa, T. Mori, T. Yasuda. Appl. Phys. Lett., 104, 232104 (2014). DOI: 10.1063/1.4882643

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2026 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme