Спектроскопия слоев на плоскопараллельных подложках
Министерство образования Республики Беларусь, ГПНИ ” Фотоника, опто- и микро-электроника“, № госрегистрации 20161316, 1.3.03
Сотский А.Б.
1, Михеев С.С.
1, Стаськов Н.И.
1, Сотская Л.И.
21Могилевский государственный университет имени А.А. Кулешова, Могилев, Беларусь
2Белорусско-Российский университет, Могилев, Беларусь
Email: ab_sotsky@mail.ru, mikheev_msu@mail.ru, ni_staskov@mail.ru, li_sotskaya@tut.by
Выставление онлайн: 24 мая 2020 г.
Получены интегральные выражения для спектров отражательной и пропускательной способностей структуры в виде двух тонких слоев, нанесенных на противоположные грани плоскопараллельной подложки в условиях наклонного освещения структуры частично когерентным светом. В результате асимптотического анализа интегралов установлены приближенные аналитические формулы для расчета названных спектров, удобные для использования при решении обратных задач спектрофотометрии. Исследован допированный алюминием слой оксида цинка, нанесенный на стеклянную подложку. Спектры показателей преломления и поглощения слоя и подложки, а также толщина слоя восстановлены путем обработки спектров отражательной и пропускательной способностей структуры, измеренных для волн s- и p-поляризации при двух углах падения света на структуру. Найденные параметры структуры использованы в вычислительных экспериментах для оценок границ применимости сформулированных приближений. Ключевые слова: спектрофотометрия, частичная когерентность, обратная оптическая задача, отражательная и пропускательная способности.
- Vriens L., Rippens W. // Appl. Opt. 1983. V. 22. N 24. P. 4105. doi 10.1364/AO.22.004105
- Minkov D. // J. Opt. Soc. Am. A. 1991. V. 8. N 2. P. 306. doi 10.1364/JOSAA.8.000306
- Chen G., Tien C.L. // J. Heat Trans--T ASME. 1992. V. 114. N 3. P. 636. doi 10.1115/1.2911328
- Richter K., Chen G., Tien C.L. // Opt. Engin. 1993. V. 32. N 8. P. 1897. doi 10.1117/12.147152
- Minkov D. // Appl. Opt. 1994. V. 33. N 33. P. 7698. doi 10.1364/AO.33.007698
- Anderson C.F., Bayazitoglut Y. // J. Thermophys Heat Tr. 1996. V. 10. N 1. P. 26. doi 10.2514/3.748
- Gonzalez-Leal J.M., Prieto-Alcon R., Angel J.A., Minkov D.A., Marquez E. // Appl. Opt. 2002. V. 41. N 34. P. 7300. doi 10.1364/AO.41.007300
- Katsidis C.C., Siapkas D.I. // Appl. Opt. 2002. V. 41. N 19. P. 3978. doi 10.1364/AO.41.003978
- Centurioni E. // Appl. Opt. 2005. V. 44. N 35. P. 7532. doi 10.1364/AO.44.007532
- Fu K., Hsu P.F., Zhang Z.M. // Appl. Opt. 2006. V. 45. N 4. P. 653. doi 10.1364/AO.45.000653
- William E.V., Castro D. // Appl. Opt. 2007. V. 46. N 4. P. 502. doi 10.1364/AO.46.000502
- Domi nguez-Gomez A.B., Mauricio-Sonchez R.A., Mendoza-Galvan A. // Opt. Mater. 2018. V. 84. P. 564. doi 10.1016/j.optmat.2018.07.059
- Born M., Wolf E. Principles of Optics. Pergamon Press, 1970. 808 p.; Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1973. 719 с
- Анго А. Математика для электро- и радиоинженеров. М.: Наука, 1964. 772 с
- Раутиан С.Г. // УФН. 1958. Т. 66. N 3. С. 475
- Сотский А.Б., Кривецкий К.Н., Парашков С.О., Сотская Л.И. // ЖПС. 2016. Т. 83. N 5. С. 809; Sotsky A.B., Krivetskii K.N., Parashkov S.O., Sotskaya L.I. // J. Appl. Spectrosc. 2016. V. 83. N 5. P. 845. doi 10.1007/s10812-016-0373-3
- Смирнов В.И. Курс высшей математики. Т. 3. Ч. 2. М.: Наука, 1974. 672 с
- Gao L., Lemarchand F., Lequime M. // Opt. Express. 2012. V. 20. N 14. P. 15735. doi 10.1364/OE.20.015734
- Стаськов Н.И., Сотский А.Б., Сотская Л.И., Филиппов В.В., Шулицкий Б.Г., Кашко И.А. // ЖПС. 2018. Т. 85. N 4. С. 658; Staskov N.I., Sotsky A.B., Sotskaya L.I., Filippov V.V., Shulicky B.G., Kashko I.A. // J. Appl. Spectrosc. 2018. V. 85. N 4. P. 710. doi 10.1007/s10812-018-0709-2
- Korn G., Korn T. Mathematical Handbook for Scientists and Engineers. N. Y.: Mc Graw-Hill Book Company, 1968. 1130 p.; Корн Г., Корн Т. Справочник по математике для научных работников и инженеров. М.: Наука, 1973. 832 с
- Hudson D.J. Statistics. Geneva, 1964. 450 p.; Худсон Д. Статистика для физиков. М.: Мир, 1970. 295 с
- Сотский А.Б., Штейнгарт Л.М., Парашков С.О., Сотская Л.И. // Изв. РАН. Серия физическая. 2016. Т. 80. N 4. С. 465. doi 10.7868/S036767651604030X
- Сотский А.Б., Михеев C.C. // Вестник МГУ им. А.А. Кулешова. Серия В. 2019. N 2 (54). С. 49
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
