Оптика и спектроскопия

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Импульсный лазерный отжиг кремния, имплантированного ионами марганца

Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Госзадание КФТИ

Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, двух- и многостороннее научно-технологическое взаимодействие, № 075-15-2023-612

Ковалев М.С.

¹, Подлесных И.М.

¹, Баталов Р.И.

², Сцепуро Н.Г.

¹, Кудряшов С.И.

¹Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия Lebedev Physical Institute, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

Lebedev Physical Institute, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

²Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия Zavoisky Physical-Technical Institute, FRC Kazan Scientific Center of RAS, Kazan, Russia

Zavoisky Physical-Technical Institute, FRC Kazan Scientific Center of RAS, Kazan, Russia

Email: i.podlesnykh@lebedev.ru

Поступила в редакцию: 11 декабря 2023 г.

В окончательной редакции: 9 января 2024 г.

Принята к печати: 16 января 2024 г.

Выставление онлайн: 2 апреля 2024 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Описана методика импульсного лазерного отжига кремния, предварительно сверхлегированного атомами марганца с помощью ионной имплантации. Подобраны оптимальные режимы лазерного отжига, которые обеспечивали наилучшую кристалличность образцов. Проанализировано влияние импульсного лазерного отжига на некоторые оптические и структурные свойства сверхлегированных кремниевых пластин на основе спектров комбинационного рассеяния, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии, спектров инфракрасного поглощения в диапазоне волновых чисел от 700 до 1300 cm^-1. Ключевые слова: импульсный лазерный отжиг, сверхлегирование, ионная имплантация, кремний, марганец.

C. Li, J.-H. Zhao, Z.-G. Chen. J. Alloys Compd., 883, 160765 (2021). DOI: 10.1016/j.jallcom.2021.160765
S. Kudryashov, K. Boldyrev, A. Nastulyavichus, D. Prikhod'ko, S. Tarelkin, D. Kirilenko, P. Brunkov, A. Shakhmin, K. Khamidullin, G. Krasin, M. Kovalev. Opt. Mater. Express, 11 (11), 3792 (2021). DOI: 10.1364/OME.438023
S. Kudryashov, A. Nastulyavichus, G. Krasin, K. Khamidullin, K.Boldyrev, D. Kirilenko, A. Yachmenev, D. Ponomarev, G. Komandin, S. Lebedev, D. Prikhod'ko, M. Kovalev. Opt. Laser Technol., 158, 108873 (2023). DOI: 10.1016/j.optlastec.2022.108873
M. Kovalev, A. Nastulyavichus, I. Podlesnykh, N. Stsepuro, V. Pryakhina, E. Greshnyakov, A. Serdobintsev, I. Gritsenko, R. Khmelnitskii, S. Kudryashov. Materials, 16 (12), 4439 (2023). DOI: 10.3390/ma16124439
В.Н. Абакумов, В.И. Перель, И.Н. Яссиевич. Безызлучательная рекомбинация в полупроводниках (Изд. ФТИ им. Иоффе РАН, 1997)
M. Bolduc, C. Awo-Affouda, A. Stollenwerk, M.B. Huang, F.G. Ramos, G. Agnello, V.P. LaBella. Phys. Rev. B, 71 (3), 033302 (2005). DOI: 10.1103/PhysRevB.71.033302
L. Li, D. Burger, A. Shalimov, G.J. Kovacs, H. Schmidt, S. Zhou. J. Phys. D: Appl. Phys., 51 (16), 165304 (2018). DOI: 10.1088/1361-6463/aab5a6
N. Peng, C. Jeynes, M.J. Bailey, D. Adikaari, V. Stolojan, R.P. Webb. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, 267 (8-9), 1623-1625 (2009). DOI: 10.1016/j.nimb.2009.01.065
C. Awo-Affouda, M. Bolduc, V.P. LaBella. J. Vac. Sci. Technol. A, 25 (4), 976-979 (2007). DOI: 10.1116/1.2713117
M. Naito, R. Yamada, N. Machida, Y. Koshiba, A. Sugimura, T. Aoki, I. Umezu. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, 365, 110-113 (2015). DOI: 10.1016/j.nimb.2015.07.073
S. Zhou, K. Potzger, G. Zhang, A. Mcklich, F. Eichhorn, N. Schell, R. Grotzschel, B. Schmidt, W. Skorupa, M. Helm, J. Fassbender, D. Geiger. Phys. Rev. B, 75 (8), 085203 (2007). DOI: 10.1103/PhysRevB.75.085203
W. Kern. J. Electrochem. Soc., 137, 1887 (1990). DOI: 10.1149/1.2086825
L. Zarraoa, M.U. Gonzalez, A.S. Paulo. J. Sci. Rep., 9, 16263 (2019). DOI: 10.1038/s41598-019-52690-9
M. Kovalev, I. Podlesnykh, A. Nastulyavichus, N. Stsepuro, I. Mushkarina, P. Platonov, E. Terukov, S. Abolmasov, A. Dunaev, A. Akhmatkhanov, V. Shur, S. Kudryshov. Materials, 16 (6), 2350 (2023). DOI: 10.3390/ma16062350
T. OH, C.K. Choi. J. Korean Phys. Soc., 56 (4), 1150-1155 (2010). DOI: 10.3938/jkps.56.1150
B. Arkles, G.L. Larson. Silicon Compounds: Silanes \& Silicones, 3rd ed. (Gelest Inc., Morrisville, PA 19067, 2013)
L. Jastrzebski, J. Lagowski, H.C. Gatos. J. Electrochem. Soc., 126 (2), 260 (1979). DOI: 10.1149/1.2129017

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель