Вышедшие номера
Home » Оптика и спектроскопия » Год 2024, выпуск 1 » Статья стр. 27
<<<>>>
Анализ фемтосекундной модификации тонких пленок a-Ge2Sb2Te5 методом XZ-сканирования
Российский научный фонд, 23–29–00977
Будаговский И.А. 1, Кузовков Д.О.1,2,3, Лазаренко П.И.2, Смаев М.П.1
1Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
2Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
3ГК "Лазеры и аппаратура", Зеленоград, Москва, Россия
Email: BudagovskyIA@mail.ru
Поступила в редакцию: 11 декабря 2023 г.
В окончательной редакции: 9 января 2024 г.
Принята к печати: 16 января 2024 г.
Выставление онлайн: 2 апреля 2024 г.
PDF версия
Рассмотрена светоиндуцированная модификация тонких халькогенидных пленок Ge2Sb2Te5 с помощью фемтосекундного лазерного излучения в ближнем ИК диапазоне (1030 nm), реализуемая посредством двухкоординатного (XZ) сканирования. При смещении образца вдоль оси пучка изменялись параметры воздействующего излучения вследствие изменения размера облучаемой области, что обеспечивало последовательную смену характерных режимов модификации: от формирования периодических двухфазных поверхностных структур, кристаллизации, возникновения предабляционных структур до абляции. Продемонстрировано, что XZ-сканирование является удобным способом как для определения необходимых для модификации пленки параметров излучения, так и для определения геометрии пучка. Ключевые слова: лазерная модификация, фемтосекундные импульсы, тонкие пленки, аморфные халькогениды, оптическая микроскопия.
  1. J. Hegedus, S.R. Elliott. Nat. Mater., 7 (5), 399 (2008). DOI: 10.1038/nmat2157
  2. M. Wuttig, N. Yamada. Nat. Mater., 6 (11), 824 (2007). DOI: 10.1038/nmat2009
  3. S. Abdollahramezani, O. Hemmatyar, H. Taghinejad, A. Krasnok, Y. Kiarashinejad, M. Zandehshahvar, A. Alu, A. Adibi. Nanophotonics, 9 (5), 1189 (2020). DOI: 10.1515/nanoph-2020-0039
  4. Q. Wang, E.T.F. Rogers, B. Gholipour, C.-M. Wang, G. Yuan, J. Teng, N.I. Zheludev. Nat. Photonics, 10 (1), 60 (2016). DOI: 10.1038/nphoton.2015.247
  5. Z. Guo, X. Yang, F. Shen, Q. Zhou, J. Gao, K. Guo. Sci. Rep., 8 (1), 12433 (2018). DOI: 10.1038/s41598-018-30550-2
  6. С.А. Козюхин, П.И. Лазаренко, А.И. Попов, И.Л. Еременко. Успехи химии, 91 (9), RCR5033 (2022). DOI: 10.1070/RCR5033 [S.A. Kozyukhin, P.I. Lazarenko, A.I. Popov, I.L. Eremenko. Russ. Chem. Rev., 91 (9), RCR5033 (2022). DOI: 10.1070/RCR5033]
  7. I. Friedrich, V. Weidenhof, S. Lenk, M. Wuttig. Thin Solid Films, 389 (1), 239 (2001). DOI: 10.1016/S0040-6090(01)00891-4
  8. J. Fu, X. Shen, Y. Xu, G. Wang, Q. Nie, C. Lin, S. Dai, T. Xu, R. Wang. Mater. Lett., 88, 148 (2012). DOI: 10.1016/j.matlet.2012.08.051
  9. G. D'Arrigo, M. Scuderi, A. Mio, G. Favar., M. Conte, A. Sciuto, M. Buscema, G. Li-Destri, E. Carria, D. Mello, M. Calabretta, A. Sitta, J. Pries, E. Rimini. Mater. Design, 202, 109545 (2021). DOI: 10.1016/j.matdes.2021.109545
  10. Y. Liu, M.M. Aziz, A. Shalini, C.D. Wright, R.J. Hicken. J. Appl. Phys., 112 (12) (2012). DOI: 10.1063/1.4770359
  11. A.V. Kiselev, V.V. Ionin, A.A. Burtsev, N.N. Eliseev, V.A. Mikhalevsky, N.A. Arkharova, D.N. Khmelenin, A.A. Lotin. Opt. Laser Technol., 147, 107701 (2022). DOI: 10.1016/j.optlastec.2021.107701
  12. S.A. Kozyukhin, P.I. Lazarenko, Yu.V. Vorobyov, M.S. Savelyev, A.A. Polokhin, V.B. Glukhenkaya, A.A. Sherchenkov, A.Y. Gerasimenko. Mater. Tech., 107 (3), 307 (2019). DOI: 10.1051/mattech/2019008
  13. S. Kozyukhin, M. Smayev, V. Sigaev, Yu. Vorobyov, Yu. Zaytseva, A. Sherchenkov, P. Lazarenko. Phys. Status Solidi B, 257 (11), 1900617 (2020). DOI: 10.1002/pssb.201900617
  14. S. Zabotnov, A. Kolchin, D. Shuleiko, D. Presnov, T. Kaminskaya, P. Lazarenko, V. Glukhenkaya, T. Kunkel, S. Kozyukhin, P. Kashkarov. Micro, 2 (1), 88 (2022). DOI: 10.3390/micro2010005
  15. K. Zhao, W. Han, Z. Han, X. Zhang, X. Zhang, X. Duan, M. Wang, Y. Yuan, P. Zuo. Nanophotonics, 11 (13), 3101 (2022). DOI: 10.1515/nanoph-2022-0133
  16. M.P. Smayev, P.I. Lazarenko, I.A. Budagovsky, A.O. Yakubov, V.N. Borisov, Yu.V. Vorobyov, T.S. Kunkel, S.A. Kozyukhin. Opt. Laser Technol., 153, 108212 (2022). DOI: 10.1016/j.optlastec.2022.108212
  17. T. Kunkel, Yu. Vorobyov, M. Smayev, P. Lazarenko, A. Kolobov, S. Kozyukhin. Appl. Surf. Sci., 624, 157122 (2023). DOI: 10.1016/j.apsusc.2023.157122
  18. J. Bonse, A. Rosenfeld, J. Kruger. J. Appl. Phys., 106 (10) (2009). DOI: 10.1063/1.3261734
  19. М.П. Смаев, П.И. Лазаренко, М.Е. Федянина, И.А. Будаговский, А. Рааб, И.В. Сагунова, С.А. Козюхин. Опт. и спектр., 131 (2), 196 (2023). DOI: 10.21883/OS.2023.02.55005.15-23 [M.P. Smayev, P.I. Lazarenko, M.E. Fedyanina, I.A. Budagovsky, A. Raab, I.V. Sagunova, S.A. Kozyukhin. Opt. Spectrosc., 131 (2), 185 (2023). DOI:10.61011/EOS.2023.02.55783.15-23]
  20. C. Ruiz de Galarreta, S.G.C. Carrillo, Y.Y. Au, E. Gemo, L. Trimby, J. Shields, E. Humphreys, J. Faneca, L. Cai, A. Baldycheva, J. Bertolotti, C.D. Wright. J. Opt., 22 (11), 114001 (2020). DOI: 10.1088/2040-8986/abbb5b
  21. F. Chen, J.R.V. de Aldana. Las. Photonics Rev., 8 (2), 251 (2014). DOI: 10.1002/lpor.201300025
  22. Ya.S. Lebedeva, M.P. Smayev, I.A. Budagovsky, M.E. Fedyanina, I.S. Sinev, T.S. Kunkel, A.V. Romashkin, P.A. Smirnov, A.A. Sherchenkov, S.A. Kozyukhin, P.I. Lazarenko. J. Surf. Invest., 17 (Suppl. 1), S339 (2023). DOI: 10.1134/S1027451023070297
  23. V. Weidenhof, I. Friedrich, S. Ziegler, M. Wuttig. J. Appl. Phys., 89 (6), 3168 (2001). DOI: 10.1063/1.1351868
  24. H. Shimizu, S. Yada, G. Obara, M. Terakawa. Opt. Express, 22 (15), 17990 (2014). DOI: 10.1364/OE.22.017990

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme