Вышедшие номера
Исследование параметров прозрачных токопроводящих периодических структур, изготовленных методом лазерной абляции
Минобрнауки России, Госзадание, 0705-2020-0032
Остриков С.А.1, Носов П.А. 1, Михалёв П.А.1, Макеев М.О.1, Проваторов А.С.1, Корольков А.В.1
1Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва, Россия
Email: ostrikovsergey99@yandex.ru, pan@bmstu.ru
Поступила в редакцию: 20 декабря 2021 г.
В окончательной редакции: 20 декабря 2021 г.
Принята к печати: 30 декабря 2021 г.
Выставление онлайн: 15 февраля 2022 г.

Приведены результаты исследования прозрачного в широком диапазоне длин волн 550-2000 nm сетчатого электрода с низким электрическим сопротивлением из алюминиевой пленки толщиной 30 μm на полиимидной подложке толщиной 20 μm, изготовленного методом лазерной абляции. Метод реализуется при помощи волоконного иттербиевого наносекундного лазера с длиной волны излучения 1064 nm. Полученная структура имеет коэффициент пропускания >50% в обозначенном диапазоне спектра и электрическое сопротивление <1.5 Ω/sq. Ключевые слова: прозрачные электроды, токопроводящие периодические структуры, лазерная абляция, импульсное лазерное излучение, волоконный лазер, лазерная оптика, лазерные технологии.
  1. H.-G. Park, G.-S. Heo, S.-G. Park, H.-C. Jeong, J.H. Lee, D.-S. Seo. ECS Solid State Letters, 4 (10), 50 (2015). DOI: 10.1149/2.0031510ssl
  2. M. Vineeth. Fabrication of OLED on FTO and ITO coated Substrates [Электронный ресурс]. URL: https://www.researchgate.net/publication/ 234037466\_Paper\_Fabrication\_ of\_OLED\_on\_FTO\_an d\_ITO\_coated\_substrates
  3. S. Hong, J. Yeo, G. Kim, D. Kim, H. Lee, J. Kwon, H. Lee, P. Lee, S.H. Ko. ACS Nano, 7 (6), 5024-31 (2013). DOI: 10.1021/nn400432z
  4. Свободная энциклопедия [Электронный ресурс]. URL: https://wikichi.ru/wiki/Transparent\_conducting\_film
  5. V.V. Matylitsky, H. Huber, J.A. der Au. Mechanism of selective removal of transparent conductive oxide layers: Femtosecond- vs. Picosecond-laser pulse ablation [Электронный ресурс]. URL: https://www.researchgate.net/publication/ 287245043\_Mechanism\_of\_selective\_removal\_of\_tran sparent\_conductive\_oxide\_layers\_Femtosecond-\_vs\_Picosecond-laser\_ pulse\_ablation
  6. S. Krause, P.T. Miclea, F. Steudel, S. Schweizer, G. Seifert. J. Renewable and Sustainable Energy, 6 (1), 011402 (2014). DOI: 10.1063/1.4840215
  7. Q. Wang, B.-j. Li, F. Toor, H. Ding. J. Laser Appl., 31 (2), 022505 (2019). DOI: 10.2351/1.5096085
  8. A.S. Osipkov, M.O. Makeev, E.I. Garsiya, A.A. Filyaev, K.P. Sinyagaeva, D.V. Kirillov, D.S. Ryzhenko, G.Yu. Yurkov. In: IOP Conference Series: Materials Science and Engineering (AMDA, 2021), v. 1060, p. 012007. DOI: 10.1088/1757-899X/1060/1/012007
  9. H. Wu, D. Kong, Z. Ruan, P.-C. Hsu, S. Wang, Z. Yu, T.J. Carney, L. Hu, S. Fan, Y. Cui. Nat. Nanotechnol., 8 (6), 421--425 (2013). DOI: 10.1038/nnano.2013.84
  10. J.A. Jeong, H.K. Kim, J. Kim. Sol. Energy Mater \& Sol. Cells, 125, 113--119 (2014). DOI: 10.1016/j.solmat.2014.03.003
  11. J.Y. Kim, J.S. Park, J.Y. Na, S.K. Kim, D. Kang, T.Y. Seong. Microelectron. Eng., 169, 29--33 (2017). DOI: 10.1016/j.mee.2016.11.015
  12. L.J. Guo, M.-G. Kang. Nanostructured transparent metal electrodes for organic solar cells [Электронный ресурс]. URL: https://spie.org/news/1364-nanostructured-transparent-metal- electrodes-for-organic-solar-cells?SSO=1
  13. Е.Д. Вакс, М.Н. Миленький, Л.Г. Сапрыкин. Практика прецизионной лазерной обработки. ISBN 978-5-94836-339-4 (Техносфера, Москва, 2013)
  14. Е.Д. Вакс, И.Ф. Лебёдкин, М.Н. Миленький, Л.Г. Сапрыкин, А.В. Толокнов. Резание металлов излучением мощных волоконных лазеров. ISBN 978-5-94836-427-8 (Техносфера, Москва, 2016)
  15. Технологические процессы лазерной обработки: учеб. пособие для вузов, под ред. А.Г. Григорьянца. ISBN 5-7038-2701-9 (Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, 2006)
  16. P.A. Nosov, A.F. Shirankov, A.G. Grigoryants, R.S. Tret'yakov. J. Physics: Conference Series, 584 (1), 012006 (2015). DOI: 10.1088/1742-6596/584/1/012006
  17. П.А. Носов, А.Ф. Ширанков, А.М. Хорохоров, К.И. Зайцев, С.О. Юрченко. Изв. вузов. Физика, 61 (12), 146--152 (2018)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.