ПЖТФ, 2007, том 33, выпуск 11

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние мощности, переносимой атомарным пучком, на формирование границы раздела Fe/Si (111) 7x7

Н.И.Плюснин, В.М.Ильященко, С.В.Крылов, С.А.Китань

Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН, Владивосток
Владивостокский государственный университет экономики и сервиса
E-mail: plusnin@iacp.dvo.ru

Поступило в Редакцию 16 ноября 2006 г.

Методом электронной оже-спектроскопии, спектроскопии характеристических потерь энергии электронов и дифракции медленных электронов исследованы начальные стадии роста и взаимодействие железа с монокристаллической подложкой кремния. Исследования проводили в процессе осаждения железа из двух молекулярно-лучевых источников со скоростями осаждения 0.01 и 6 nm/min и соответственно энергиями потока 0.14 и 0.18 eV. Обнаружено, что в первом случае происходит послойный рост железа, а во втором --- послойный рост моносилицида железа. Полученные результаты показывают существенное влияние мощности энергетического потока молекулярного пучка на образование силицида на границе раздела пленка-подложка в процессе ее формирования.

PACS: 34.50.Dy, 81.15.Hi

 PDF версия (154Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2007, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster