ЖТФ, 2007, том 77, выпуск 8

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Самораспыление тонких пленок
(применение метода инвариантного погружения)

В.В.Манухин

Московский энергетический институт (технический университет),
111250 Москва, Россия
e-mail: ManukhinVV@mpei.ru

(Поступило в Редакцию 6 декабря 2005 г. В окончательной редакции 26 января 2007 г.)

Приведено аналитическое решение задачи о самораспылении тонких однородных пленок. С использованием принципов инвариантного погружения получены интегральные уравнения, описывающие поток распыленных атомов. Найдены приближенные решения интегрального уравнения для функций, описывающих спектры атомов, вылетающих с поверхностей пленок, в случае самораспыления.

PACS: 68.49.Sf, 72.10.Bg, 02.30.Rz

 PDF версия (277Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2007, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster