ЖТФ, 2005, том 75, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Волноводный метод измерения параметров тонких пленок

А.В.Хомченко, А.Б.Сотский, А.А.Романенко, Е.В.Глазунов, А.В.Шульга

Институт прикладной оптики НАН Белоруссии,
212793 Могилев, Белоруссия
e-mail: avkh@mogilev.by

(Поcтупило в Редакцию 27 июля 2004 г.)

Предложен волноводный метод определения коэффициента поглощения, показателя преломления и толщины тонких пленок, основанный на регистрации угловой зависимости энергетического коэффициента отражения светового пучка в схеме призменного устройства связи. Рассмотрено применение метода для исследования характеристик тонкопленочных волноводов, диэлектрических покрытий и металлических пленок.

 PDF версия (230Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster