ЖТФ, 2003, том 73, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Формирование двумерных периодических наноструктур на поверхности плавленого кварца, полиимида и поликристаллического алмаза с помощью метода импульсной четырехлучевой интерференционной лазерной модификации

Ю.К.Веревкин, Н.Г.Бронникова,1 В.В.Королихин, Ю.Ю.Гущина,2 В.Н.Петряков,
Д.О.Филатов,2 Н.М.Битюрин, А.В.Круглов,2 В.В.Левичев 2

Институт прикладной физики РАН,
603950 Нижний Новгород, Россия
e-mail: verevkin@appl.sci-nnov.ru
1 НПО \glqq Салют-Микро\grqq,
603107 Нижний Новгород, Россия
2 Научно-образовательный центр физики твердотельных наноструктур, Нижегородский государственный университет,
603950 Нижний Новгород, Россия

(Поступило в Редакцию 23 октября 2002 г.)

С помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ) изучена топография субмикронных периодических структур, сформированных на поверхностях поликристаллического синтетического алмаза, и полиимидных пленок на подложках из плавленого кварца при наносекундных импульсных воздействиях ультрафиолетового излучения эксимерного XeCl лазера с длиной волны 308 nm в схеме четырехлучевой интерференционной лазерной модификации. Показана возможность прямого формирования двумерного периодического рельефа с субмикронным периодом на поверхности алмаза непосредственно импульсным лазерным испарением без применения резистора. Установлено, что в зависимости от экспозиции наблюдаются два различных механизма модификации полиимидных пленок. При экспозициях в диапазоне до 100 mJ/cm2 в полиимиде наблюдается изменение рельефа вследствие увеличения объема в местах интерференционных максимумов. При экспозиции более 100 mJ/cm2 в пленках возникают отверстия. С использованием УФ фоторезистора, экспонированного интерференционным импульсным лазерным облучением, и последующего ионного травления Ar получен периодический рельеф на поверхности плавленого кварца.

 PDF версия (984Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster