ЖТФ, 2003, том 73, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Получение методом ионно-лучевого распыления кислородом и оптические свойства ультратонких пленок золота

А.И.Стогний, Н.Н.Новицкий, С.Д.Тушина, С.В.Калинников

Институт физики твердого тела и полупроводников НАН Белоруссии,
220072 Минск, Белоруссия
e-mail: stognij@ifttp.bas-net.by

(Поcтупило в Редакцию 10 ноября 2002 г.)

Исследована зависимость оптических и электрических свойств золотых пленок толщиной от менее 1 до 8 nm, полученных методом ионно-лучевого распыления с использованием ионов аргона и кислорода. Показано, что свойства пленок не зависят от типа применявшихся для распыления ионов. Установлено, что пленки толщиной от 1 до 5 nm являются сплошными и обладают высокой прозрачностью. Получены методом ионно-лучевого распыления ионами кислорода омические контакты NiOx/Au к p-GaN.

 PDF версия (593Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster