Вышедшие номера
Применение диффузионной модели образования ростовых микродефектов для описания дефектообразования в термообработанных монокристаллах кремния
Таланин В.И.1, Таланин И.Е.1
1Институт экономики и информационных технологий, Запорожье, Украина
Email: v.i.talanin@mail.ru
Поступила в редакцию: 26 июня 2012 г.
Выставление онлайн: 20 января 2013 г.

Рассмотрено применение диффузионной модели образования ростовых микродефектов для описания дефектообразования в монокристаллах кремния, прошедших термическую обработку. Показано, что предложенная кинетическая модель дефектообразования дает возможность рассмотреть образование и развитие дефектной структуры во время роста кристалла и его термических обработок с единых позиций. Математический аппарат диффузионной модели может быть положен в основу программного комплекса для анализа и расчета образования ростовых и постростовых микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния. Показано, что диффузионная модель образования ростовых и постростовых микродефектов позволяет определить необходимые условия роста кристалла и режимы его обработок для получения точно определенной дефектной структуры.
  1. V.I. Talanin, I.E. Talanin. I.E. In: New research on semiconductors / Ed. T.B. Elliot. Nova Science Publ. Inc. N.Y. (2006). P. 31
  2. V.I. Talanin, I.E. Talanin. Open Cond. Matter Phys. J. 4, 8 (2011)
  3. В.И. Таланин, И.Е. Таланин. ФТТ 49, 450 (2007)
  4. В.И. Таланин, И.Е. Таланин. ФТТ 52, 1925 (2010)
  5. В.И. Таланин, И.Е. Таланин. ФТТ 52, 1751 (2010)
  6. V.I. Talanin, I.E. Talanin. J. Cryst. Growth 346, 45 (2012)
  7. V.I. Talanin, I.E. Talanin, N.Ph. Ustimenko. J. Crystallization Proc. Technol. 1, 13 (2011)
  8. Z. Wang, R.A. Brown. J. Cryst. Growth 231, 442 (2001)
  9. В.И. Таланин, И.Е. Таланин. ФТТ 53, 114 (2011)
  10. J. Vanhellemont, C. Claeus. J. Appl. Phys. 62, 3960 (1987)
  11. J. Vanhellemont. Appl. Phys. Lett. 68, 3413 (1996)
  12. V.V. Voronkov, R. Falster. J. Appl. Phys. 91, 5802 (2002)
  13. С.В. Булярский, В.В. Светухин, О.В. Приходько. ФТП 33, 1281 (1999)
  14. В.В. Слезов, С.А. Кукушкин. ФТТ 29, 1812 (1987)
  15. А.Л. Колесникова, А.Е. Романов, В.В. Чалдышев. ФТТ 49, 633 (2007)
  16. B. Burton, M.V. Speight. Phil. Mag. A 53, 385 (1985)
  17. M. Itsumi. J. Cryst. Growth 237--239, 1773 (2002)
  18. Y. Yanase, H. Nishihata, T. Ochiai, H. Tsuya. Jpn. J. Appl. Phys. 37, 1 (1998)
  19. T. Ueki, M. Itsumi, T. Takeda, K. Yoshida, A. Takaoka, S. Nakajima. Jpn. J. Appl. Phys. 37, L771 (1998)
  20. V.I. Talanin, I.E. Talanin. I.E. In: Advances in Crystallization Processes / Ed. Y. Mastai. InTech, Rijeka (2012) P. 611

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.