ФТТ, 2010, том 52, выпуск 4

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Возможности изучения нанообъектов в пористом кремнии и подложках кремния, облученных протонами, методом
позитронной аннигиляционной спектроскопии

Р.Бурцл\kern1pt*** В.И.Графутин\kern1pt*, О.В.Илюхина\kern1pt*, Г.Г.Мясищева\kern1pt*, Е.П.Прокопьев\kern1pt*,**,
С.П.Тимошенков\kern1pt**, Ю.В.Фунтиков\kern1pt*,

* Институт теоретической и экспериментальной физики им. А.И. Алиханова,
Москва, Россия
** Московский государственный институт электронной техники,
Зеленоград, Москва, Россия
*** Европейская комиссия, Исследовательский центр \glqq Институт энергии\grqq,
Петтен, Нидерланды
E-mail: epprokopiev@mail.ru

(Поступила в Редакцию в окончательном виде 30 июня 2009 г.)

По методу углового распределения аннигиляционных фотонов определены химический состав среды в месте аннигиляции --- на атомах кремния \glqq стенки\grqq поры, размеры и концентрации нанодефектов в пористом кремнии, а также в монокристаллических пластинах кремния, облученных протонами.

Работа выполнена при поддержке РФФИ (проект N 06-08-00819-a).

 PDF версия (524Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2010, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster