ФТТ, 2009, том 51, выпуск 9

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Особенности травления в плазме спиралевидных структур PbTe на подложках BaF2(111)

С.П.Зимин, Е.С.Горлачев, С.В.Кутровская\kern1pt*

Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова,
Ярославль, Россия
* Владимирский государственный университет,
Владимир, Россия
[1.2mm] E-mail: zimin@uniyar.ac.ru

(Поступила в Редакцию 28 августа 2008 г.)

Методами атомно-силовой микроскопии исследована морфология поверхности пленок теллурида свинца с образованиями спиралевидной формы на подложках фторида бария ориентации (111) в исходном состоянии и после обработки в аргоновой плазме. Показано, что присутствие крупных спиралевидных ступенчатых структур в области выходов пронизывающих дислокаций приводит к специфическим явлениям при распылении. Определены основные особенности модификации рельефа поверхности и взаимосвязь формирующихся одиночных и сгруппированных микровыступов с исходным рельефом и дислокациями.

Работа выполнена при частичной финансовой поддержке программы \glqq Развитие научного потенциала высшей школы\grqq (проект N 2.1.1/466).

PACS: 68.37.Ps, 68.55.J-, 81.65.Cf, 52.77.Bn

 PDF версия (567Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster