ФТТ, 2008, том 50, выпуск 7

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Распределение по размерам и концентрациям рассеивающих рентгеновское излучение центров в отожженном Cz-Si

Н.Н.Новиков, П.А.Теселько, О.В.Михалюк

Киевский национальный университет им. Тараса Шевченко,
01033 Киев, Украина
E-mail: peter@univ.kiev.ua

(Поступила в Редакцию 21 июня 2007 г.
В окончательной редакции 18 октября 2007 г.)

Выполнено рентгенодифрактометрическое исследование кинетики распада твердого раствора кислорода в кремнии, выращенном по методике Чохральского (Cz-кремнии). Отжиг образцов осуществлялся на протяжении различных промежутков времени при температуре 900oC. Предложена методика обработки рентгенодифрактометрических данных. Получены участки кривых распределения кислородосодержащих преципитатов и дислокационных петель по размерам и концентрациям.

PACS: 61.10.Nz, 61.72.Cc, 61.72.Dd

 PDF версия (152Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2008, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster