ФТТ, 2008, том 50, выпуск 5

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Релаксация заряда в проводящих диэлектрических пленках с мелкими и глубокими ловушками

А.А.Барыбин, В.И.Шаповалов

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет (ЛЭТИ),
197376 Санкт-Петербург, Россия
E-mail: VIShapovalov@mail.ru

(Поступила в Редакцию 5 июля 2007 г.)

Аналитически решена нестационарная граничная задача релаксации заряда, инжектированного в диэлектрическую пленку, с учетом ее проводимости и захвата носителей ловушками, имеющими конечную скорость разрядки. Выполнен анализ поведения заряда в однозонном и двухзонном режимах релаксации. Общие аналитические выражения дают как частный случай ранее опубликованные результаты. Численные расчеты и анализ известных из литературы экспериментальных данных по электретному состоянию оксидных пленок, осажденных на металлические подложки, подтвердили применимость разработанной модели диэлектрической релаксации.

Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант N 07-03-00543-a).

PACS: 72.20.Jv, 73.50.Gr

 PDF версия (367Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2008, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster