ФТТ, 2007, том 49, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

О рекомбинации собственных точечных дефектов в бездислокационных монокристаллах кремния

В.И.Таланин, И.Е.Таланин

Университет государственного и муниципального управления,
69002 Запорожье, Украина
E-mail: v.i.talanin@mail.ru

(Поступила в Редакцию 20 июня 2006 г.
В окончательной редакции 18 июля 2006 г.)

Экспериментально установлено и подтверждено термодинамическими расчетами, что в бездислокационных монокристаллах кремния вблизи фронта кристаллизации процесс рекомбинации собственных точечных дефектов затруднен в связи с наличием рекомбинационного барьера. В соответствии с гетерогенным механизмом образования и трансформации ростовых микродефектов произведена оценка рекомбинационных параметров (высота рекомбинационного барьера, время рекомбинации, фактор рекомбинации) модели динамики точечных дефектов при высоких и низких температурах. Подтверждено, что распад пересыщенного твердого раствора точечных дефектов происходит по двум направлениям: вакансионному и межузельному. Вакансии и собственные межузельные атомы кремния находят стоки в виде фоновых примесей кислорода и углерода. Показано, что образование пар собственный точечный дефект--примесь является доминирующим процессом вблизи температуры плавления.

PACS: 61.72.Bb, 61.72.Jj, 61.72.Yx

 PDF версия (90Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2007, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster