ФТТ, 2005, том 47, выпуск 11

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Исследование механических свойств тонких пленок Ag на кремниевой подложке методом наноиндентирования

А.В.Панин\kern1pt*, А.Р.Шугуров\kern1pt*,**, К.В.Оскомов\kern1pt**,***

* Институт физики прочности и материаловедения Сибирского отделения Росссийской академии наук,
634021 Томск, Россия
** Томский государственный университет,
634050 Томск, Россия
*** Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук,
634021 Томск, Россия
E-mail: pav@ms.tsc.ru

(Поступила в Редакцию в окончательном виде 22 февраля 2005 г.)

Исследованы механические свойства тонких пленок Ag одинаковой толщины с различным размером зерен. Твердость пленок определялась с использованием методов Оливера--Фарра, из определения работы индентирования, а также путем непосредственного измерения площади отпечатка индентора по АСМ-изображениям. Для исключения влияния подложки на измеренные значения твердости применялась методика определения истинной твердости пленок. Установлено, что твердость пленок Ag уменьшается с ростом среднего размера зерна, в то время как модуль упругости практически не изменяется. Показано, что зависимость предела текучести пленок Ag от размера зерна не совпадает с классическим законом Холла--Петча.

Работа выполнена при поддержке Российского фонда содействия науке, а также Министерства образования РФ и CRDF в рамках программы BRHE (проект N 016-02).

 PDF версия (249Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster