ФТТ, 2005, том 47, выпуск 11

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Перераспределение дислокаций в кремнии вблизи концентраторов напряжений

А.М.Орлов, А.А.Соловьев, А.А.Скворцов, И.О.Явтушенко

Ульяновский государственный университет,
432979 Ульяновск, Россия
E-mail: OrlovAM@ulsu.ru

(Поступила в Редакцию 16 декабря 2004 г.
В окончательной редакции 11 марта 2005 г.)

Исследовано распределение дефектов в дислокационных дорожках при различных углах индентирования кремниевых пластин. Выявлены закономерности изменения линейной плотности и максимального пробега дислокаций в линиях скольжения. Предложена модель, описывающая распределение дефектов в дислокационных дорожках. Согласование теории с экспериментом позволило выявить зависимость этого распределения от времени релаксации энергии.

 PDF версия (205Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster