| Содержание | Предыдущая статья | Следующая статья | Поиск |
|---|
Структурные исследования монокристаллов SiGe рентгенодифракционными методами
Т.С.Аргунова, М.Ю.Гуткин, А.Г.Забродский, Л.М.Сорокин, А.С.Трегубова,
М.П.Щеглов, Н.В.Абросимов, J.H.Je, J.M.Yi
Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
Институт проблем машиноведения Российской академии наук,
199178 Санкт-Петербург, Россия
Institute of Crystal Growth,
12489 Berlin, Germany
Department of Materials Science and Engineering, Pohang University of Science and Technology,
790-784 Pohang, Korea
(Поступила в Редакцию 14 октября 2004 г.)
|
Исследованы дефекты кристаллической структуры в монокристаллах твердых растворов SiGe, at.% Ge, выращенных методом Чохральского. Исследование проведено методами рентгеновской дифракционной топографии на лабораторном и синхротронном источниках излучения, рентгеновской дифрактометрией, а также синхротронной фазовой радиографией. Во всех исследованных кристаллах независимо от концентрации Ge наблюдались примесные полосы (полосы роста). Было показано, что увеличение концентрации Ge в интервале at.% приводило к зарождению и скольжению дислокаций по нескольким системам кристаллографических плоскостей и образованию полос скольжения. В местах пересечения полос скольжения наблюдались области с локальной блочной структурой. Наиболее вероятной причиной образования полос скольжения было неоднородное распределение Ge как по диаметру слитка, так и по оси роста. Таким образом, структурное качество монокристаллов твердых растворов SiGe может быть улучшено путем повышения степени однородности их состава. Работа выполнена в рамках программы \glqq Низкоразмерные квантовые структуры\grqq Президиума РАН (6.3). |
| PDF версия (274Kb) | Другие выпуски | Другие журналы | Помощь |
|---|
| Copyright (C) 2005, Коллектив авторов Разработано... webmaster |