ФТТ, 2005, том 47, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Атомно-силовая микроскопия поляризационных доменов в сегнетоэлектрических пленках

А.В.Анкудинов, А.Н.Титков

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
E-mail: Alexander.Ankudinov@mail.ioffe.ru

(Поступила в Редакцию 14 июля 2004 г.)

Методом контактной электростатической силовой микроскопии исследованы тонкие монокристаллические PbZr0.47Ti0.53O3 (001) и поликристаллические PbZr0.47Ti0.53O3 (111) сегнетоэлектрические пленки. Проведены измерения величины локального электромеханического отклика, которые позволили изучить распределение вектора поляризации в естественных, а также в направленно-созданных поляризационных нанодоменах в пленках. Выделены и проанализированы основные компоненты сигнала электромеханического отклика, возникающие при исследовании сегнетоэлектрических пленок: пьезоотклик и дополнительный емкостный вклад. На модельном и экспериментальном уровне продемонстрировано влияние жескости контакта зонд--поверхность на емкостный вклад в сигнал электромеханического отклика. Показано, что для получения бoлее точной информации о распределении вектора поляризации в сегнетоэлектрических пленках необходимо контролировать локальные изменения жесткости контакта зонд--поверхность.

Работа поддержана Министерством образования и науки в рамках контракта \glqq Диагностические методы и оборудование для метрологии, анализа компонентов и микроструктур технологии микро- и наноэлектроники\grqq, а также Российским фондом фундаментальных исследований (грант N 03-02-17635).

 PDF версия (347Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster