ФТТ, 2005, том 47, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Исследования зависимостей структуры и магнитных свойств пленок FeTaN от концентрации азота

А.С.Камзин, ФулиньВей*, ЗхенгЯнг*, С.А.Камзин

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
* Научно-исследовательский институт магнитных материалов, Ланджоуский университет,
730000 Ланджоу, Китай
E-mail: Kamzin@pop.ioffe.rssi.ru

(Поступила в Редакцию 27 мая 2004 г.)

Исследованы морфологии структуры и магнитные свойства тонких пленок FeTaN с высоким содержанием Ta (10 wt.%), синтезированных отжигом соединений, осажденных методом реактивного радиочастотного магнетронного распыления в газовой смеси Ar + N. Установлены зависимости свойств пленок FeTaN от содержания в них азота и температуры отжига. Определены режимы осаждения и термической обработки соединений FeTaN, при которых синтезируются наноструктурные тонкие пленки FeTaN с высокими магнитомягкими характеристиками {Bs=1.6 T, Hc=0.2 Oe и mu1(1 MHz)=3400}.

Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 02-02-39006) и Национального фонда науки Китая.

 PDF версия (235Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster