ФТТ, 2005, том 47, выпуск 1

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Структура, примесный состав и фотолюминесценция механически полированных слоев монокристаллического кремния

Р.И.Баталов, Р.М.Баязитов, Н.М.Хуснуллин *, Е.И.Теруков **, В.Х.Кудоярова **,
Г.Н.Мосина **, Б.А.Андреев ***, Д.И.Крыжков ***

Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского Российской академии наук,
420029 Казань, Россия
* Казанский государственный университет,
420008 Казань, Россия
** Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
*** Институт физики микроструктур Российской академии наук,
603950 Нижний Новгород, Россия
E-mail: bayaz@kfti.knc.ru

Рассмотрено введение в монокристаллический кремний оптически активных дефектов (атомных кластеров, дислокаций, преципитатов) путем радиационных воздействий, пластической деформации или термической обработки как один из возможных подходов к созданию кремниевых структур, излучающих в ближней ИК-области. Дефекты вводились в кремний с помощью традиционной механической полировки пластин. Трансформация дефектной структуры и примесный состав нарушенных слоев кремния в процессе термического отжига (ТО) кристалла исследовались методами просвечивающей электронной микроскопии и рентгеновской флуоресценции. Оптические свойства дефектов исследовались с помощью фотолюминесценции (ФЛ) в ближней ИК-области при 77 K. Показано, что в результате ТО при температурах 850-1000oC имеет место трансформация дефектов, полученных при механической полировке, в дислокации и дислокационные петли, а также формирование преципитатов SiO2. В зависимости от температуры отжига в спектрах ФЛ преобладает вклад от окисных преципитатов либо дислокаций, декорированных атомами меди, геттерированными из объема кристалла.

Работа выполнена при поддержке программы Отделения физических наук РАН \glqq Новые материалы и структуры\grqq и программы \glqq Фундаментальные исследования и высшее образование\grqq (BRHE REC-007).

 PDF версия (223Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster