ФТТ, 2005, том 47, выпуск 1

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Фотолюминесценция нанокристаллического кремния, полученного методом имплантации ионов инертных газов

А.А.Ежевский, М.Ю.Лебедев, С.В.Морозов

Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского,
603950 Нижний Новгород, Россия
E-mail: ezhevski@phys.unn.ru

Предложен новый способ получения нанокристаллического кремния, заключающийся в использовании больших доз облучения (D>> Da) ионами инертных газов, когда наноструктурирование происходит в результате процессов самоорганизации структуры кремния на границе аморфного слоя с кристаллической подложкой. Исследование фотолюминесценции (ФЛ) таких слоев показало существование двух полос в спектре люминесценции (720 и 930 nm). Предполагается, что за появление линий ФЛ ответственны квантово-размерные эффекты в нанокристаллах, а также интерфейсы, представляющие собой области разупорядоченного кремния за пределами аморфного слоя, разделяющие нанокристаллы. Проведены исследования зависимости интенсивности сигнала ФЛ от времени травления в HF и времени последующей выдержки образцов на воздухе. Исследовано влияние термического отжига на спектр ФЛ.

Работа выполнена в рамках программы \glqq Фундаментальные исследования и высшее образование в России\grqq (BRHE), при поддержке Фонда гражданских исследований и разработок  США (CRDF) и Министерства образования РФ (грант N REC-001), а также при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 04-02-16493).

 PDF версия (165Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster