ФТТ, 2004, том 46, выпуск 10

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Амплитудно-фазовые спектры отражения света от брэгговских структур на основе аморфного кремния

В.Г.Голубев, А.А.Дукин, А.В.Медведев, А.Б.Певцов, А.В.Селькин, Н.А.Феоктистов

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
E-mail: dookin@gvg.ioffe.ru

(Поступила в Редакцию 9 февраля 2004 г.)

Исследованы амплитудно-фазовые спектры отражения света от распределенных брэгговских отражателей и микрорезонаторов Фабри--Перо, выращенных на основе тонких пленок a-Si : H/a-SiOx : H. Измерена частотная зависимость разности фаз амплитудных p- и s-коэффициентов отражения света в пределах фотонной запрещенной зоны. Фазовый спектр в основном характеризуется плавной зависимостью от частоты (близкой к линейной), за исключением спектральных участков в области краев фотонной запрещенной зоны и особенностей, связанных с собственными модами микрорезонатора. Экспериментальные спектры сравниваются с результатами теоретических расчетов, выполненных с использованием метода матриц переноса и приближенных аналитических выражений. Предложен способ структурной характеризации многослойной микрорезонаторной системы, основанный на анализе амплитудно-фазовых спектров отражения.

Работа выполнена при финансовой поддержке программы Минпромнауки \glqq Физика твердотельных наноструктур\grqq (проект 01.40.01.09.03) и гранта NATO PST.CLG 980399.

 PDF версия (281Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2004, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster