ФТТ, 2004, том 46, выпуск 8

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Дефектообразование в эпитаксиальных гетероструктурах Ge1-xSix/Ge(111)

Т.Г.Югова, М.Г.Мильвидский *, В.И.Вдовин *

Государственный научно-исследовательский институт редкометаллической промышленности \glqq Гиредмет\grqq,
109017 Москва, Россия
* Институт химических проблем микроэлектроники,
109017 Москва, Россия
E-mail: icpm@mail.girmet.ru

(Поступила в Редакцию в окончательном виде 12 января 2004 г.)

С помощью методов селективного химического травления и просвечивающей электронной микроскопии исследованы особенности дефектообразования в эпитаксиальных гетероструктурах Ge1-xSix/Ge(111) в диапазоне составов твердого раствора (ТР) 0.01. Обнаружено немонотонное изменение плотности дислокаций в эпитаксиальном слое, на гетерогранице и в приграничной области подложки по мере увеличения содержания Si в ТР. Различный характер распределения дислокаций по толщине гетероструктур, имеющий специфические особенности в образцах, относящихся к различным областям состава ТР, обусловлен влиянием состава ТР на кинетику релаксации напряжений несоответствия, в частности на интенсивность зарождения и размножения дислокаций несоответствия. Установлено, что в гетероструктурах, выращиваемых методом гидридной эпитаксии при температуре 600oC, размножение дислокаций несоответствия по модифицированному механизму Франка-Рида проявляется только в области составов 0.03. Полученные результаты объясняются с позиции влияния обогащенных атомами кремния микровыделений, образующихся в результате спинодального распада ТР, на зарождение и распространение дислокаций в эпитаксиальном слое. Предложен механизм генерации дислокаций несоответствия на гетерогенных источниках в эпитаксиальном слое, основанный на зарождении вблизи микровыделений дислокационных петель внедренного типа.

Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 02-02-16692).

 PDF версия (252Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2004, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster