ФТТ, 2004, том 46, выпуск 7

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Генерация мелких азотно-кислородных доноров
как метод исследования диффузии азота в кремнии

В.В.Воронков, А.В.Батунина, Г.И.Воронкова, М.Г.Мильвидский *

Научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности \glqq Гиредмет\grqq,
109017 Москва, Россия
* Институт химических проблем микроэлектроники,
109017 Москва, Россия
E-mail: icpm@mail.girmet.ru

(Поступила в Редакцию 25 ноября 2003 г.)

Распределение концентрации азота C(z) после диффузии из объема образца на поверхность можно выявить с высокой точностью с помощью последующей термообработки в области средних температур (например, 650oC). Образующиеся при этом мелкие термодоноры --- азотно-кислородные комплексы --- имеют распределение по глубине в соответствии с профилем C(z) и позволяют вычислить этот профиль. Данный метод применен для выявления зависимости C(z) после диффузионного отжига при 950, 1000 и 1050oC. В присутствии высокой концентрации кислорода транспорт азота упрощается благодаря ускоренной диссоциации азотных димеров. С другой стороны, он несколько осложняется вследствие частичного окисления азотных мономеров. Полученные данные свидетельствуют о том, что последний эффект не является слишком сильным: димерная форма азота преобладает, диффузионный профиль контролируется комбинацией D1K1/2, где D1 --- коэффициент диффузии мономерного азота, а K --- константа диссоциации.

Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (грант N 02-02-16053A).

 PDF версия (186Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2004, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster