ФТТ, 2004, том 46, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Модификация диоксида кремния электронным пучком

Л.А.Бакалейников, М.В.Заморянская, Е.В.Колесникова, В.И.Соколов, Е.Ю.Флегонтова

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
E-mail: zam@mail.ioffe.ru

(Поступила в Редакцию 13 октября 2003 г.)

Получена оценка температуры перегрева микрообъема диоксида кремния под воздействием пучка электронов высокой удельной мощности. Расчеты показали, что при токе электронного пучка 100 nA максимальная температура перегрева микрообъема диоксида кремния может достигать 1200oC. Проведено исследование изменения катодолюминесцентных свойств аморфного диоксида кремния с различным содержанием гидроксильных групп при различной удельной мощности электронного пучка. Показано, что под воздействием электронного пучка высокой удельной мощности возникают дополнительные структурные дефекты вплоть до образования кластеров кремния.

Работа была выполнена в рамках проекта Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 03-02-16621).

 PDF версия (284Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2004, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster