ФТТ, 2004, том 46, выпуск 1

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Компонентный состав и упругие напряжения в многослойных структурах с наноостровками Si1-xGex

М.Я.Валах, В.Н.Джаган, П.М.Литвин, В.А.Юхимчук, З.Ф.Красильник *, А.В.Новиков *, Д.Н.Лобанов *

Институт физики полупроводников Национальной академии наук Украины,
03028 Киев, Украина
* Институт физики микроструктур Российской академии наук,
603600 Нижний Новгород, Россия
E-mail: valakh@isp.kiev.ua

С помощью спектроскопии КРС определены компонентный состав и механические напряжения в Si1-xGex-наноостровках, содержащихся в многослойной и однослойной структурах, выращенных в одинаковых условиях. Показано, что возрастание содержания кремния в островках в многослойной структуре не приводит к большей (по сравнению с одиночным слоем островков) их релаксации из-за отсутствия свободной поверхности. Экспериментально получен спектр рассеяния на свертках акустических фононов с довольно малыми полуширинами полос, что свидетельствует о высоком качестве выращенных сверхрешеток с наноостровками.

Работа выполнена при поддержке Украинско-российской программы \glqq Нанофизика\grqq и INTAS-проекта N 01-444.

 PDF версия (133Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2004, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster