| Содержание | Предыдущая статья | Следующая статья | Поиск |
|---|
Компонентный состав и упругие напряжения в многослойных структурах с наноостровками SiGe
М.Я.Валах, В.Н.Джаган, П.М.Литвин, В.А.Юхимчук, З.Ф.Красильник, А.В.Новиков, Д.Н.Лобанов
Институт физики полупроводников Национальной академии наук Украины,
03028 Киев, Украина
Институт физики микроструктур Российской академии наук,
603600 Нижний Новгород, Россия
E-mail: valakh@isp.kiev.ua
|
С помощью спектроскопии КРС определены компонентный состав и механические напряжения в SiGe-наноостровках, содержащихся в многослойной и однослойной структурах, выращенных в одинаковых условиях. Показано, что возрастание содержания кремния в островках в многослойной структуре не приводит к большей (по сравнению с одиночным слоем островков) их релаксации из-за отсутствия свободной поверхности. Экспериментально получен спектр рассеяния на свертках акустических фононов с довольно малыми полуширинами полос, что свидетельствует о высоком качестве выращенных сверхрешеток с наноостровками. Работа выполнена при поддержке Украинско-российской программы \glqq Нанофизика\grqq и INTAS-проекта N 01-444.
|
| PDF версия (133Kb) | Другие выпуски | Другие журналы | Помощь |
|---|
| Copyright (C) 2004, Коллектив авторов Разработано... webmaster |