ФТП, 2010, том 44, выпуск 5

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние различных химических обработок поверхности на высоту барьеров Al-p-SiGe, Au-n-SiGe

И.Г.Атабаев, Н.А.Матчанов, М.У.Хажиев, В.Пак, Т.М.Салиев

Физико-технический институт им. С.В. Стародубцева Академии наук Республики Узбекистан,
100084 Ташкент, Узбекистан

(Получена 4 августа 2009 г. Принята к печати 29 сентября 2009 г.)

Исследовано влияние различной химической обработки на свойства барьеров Шоттки Au-n-SiGe и Al-p-SiGe. Травление в различных режимах использовалось для формирования поверхности с различной плотностью поверхностных состояний (Dss). Показано, что высота барьеров исследованных структур коррелирует с плотностью поверхностных состояний Dss и содержанием германия в твердом растворе Si1-xGex.

 PDF версия (192Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2010, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster