ФТП, 2009, том 43, выпуск 11
ФТП, 2009, том 43, выпуск 11
| Содержание | Предыдущая статья | Следующая статья | Поиск |
|---|
Оптические и структурные свойства тонких пленок, осажденных из золя наночастиц кремния
С.Г.Дорофеев, Н.Н.Кононов, А.А.Ищенко, Р.Б.Васильев, М.А.Гольдштрах,
К.В.Зайцева, В.В.Колташев, В.Г.Плотниченко, О.В.Тихоневич
Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (химический факультет),
119991 Москва, Россия
Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук,
119991 Москва, Россия
Московская государственная академия тонкой химической технологии им. М.В. Ломоносова,
119571 Москва, Россия
Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (факультет наук о материалах),
119991 Москва, Россия
Научный центр волоконной оптики Российской академии наук,
119333 Москва, Россия
(Получена 26 марта 2009 г. Принята к печати 6 апреля 2009 г.)
|
Предложен новый метод формирования тонких пленок нанокристаллического кремния (-Si), который заключается в размерно-селективном осаждении с помощью центрифугирования наночастиц из коллоидного раствора (золя), содержащего порошки -Si. Структурные и оптические параметры исходных порошков -Si и осажденных пленок изучены с помощью просвечивающей электронной микроскопии и анализа спектров поглощения и спектров комбинационного рассеяния. Величина коэффициента поглощения пленок -Si увеличивается с уменьшением размеров наночастиц, из которых состоят эти пленки. Измеренная ширина запрещенной зоны в пленках увеличивается от 1.8 до 2.2 эВ при травлении порошков -Si, используемых для осаждения соответствующих пленок. Из анализа спектров комбинационного рассеяния сделано предположение, что наличие аморфной составляющей в исследованных порошках и пленках -Si определяется атомами кислорода, координированными на поверхности наночастиц. PACS: 68.55.-a, 68.60.-p, 81.07.Wx, 81.15.-z |
| PDF версия (653Kb) | Другие выпуски | Другие журналы | Помощь |
|---|
| Copyright (C) 2009, Коллектив авторов Разработано... webmaster |