ФТП, 2009, том 43, выпуск 10

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Особенности совместной диффузии бора и гадолиния
в кремний из наноразмерных гибридных
органо-неорганических пленок

И.В.Смирнова *, О.А.Шилова *+, В.А.Мошников +, А.Е.Гамарц +

* Институт химии силикатов им. И.В. Гребенщикова Российской академии наук,
199034 Санкт-Петербург, Россия
+ Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет \glqq ЛЭТИ\grqq,
197376 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 26 марта 2009 г. Принята к печати 6 апреля 2009 г.)

Методом золь-гель технологии получены наноразмерные органо-неорганические пленки, которые использованы в качестве усовершенствованных источников диффузии бора и гадолиния в кремний. С помощью вторичной ионной масс-спектрометрии исследованы особенности диффузионных профилей распределения бора при его раздельной и совместной с гадолинием диффузии из полученных пленок. Составлена программа и проведено численное моделирование, обеспечившее адекватное описание сложных участков экспериментально полученных диффузионных профилей бора. Предложена модель, учитывающая перераспределение бора между стекловидной пленкой и оксидным слоем, что позволило найти оптимальные значения коэффициентов диффузии бора, при которых наблюдается наилучшее соответствие между экспериментальными и расчетными результатами.

PACS: 81.07.Pr, 81.20.Fw, 61.72.sh

 PDF версия (179Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster