ФТП, 2009, том 43, выпуск 10

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Эффект ориентации поверхности кремния в модели объемного термического окисления

О.В.Александров\kern1pt, А.И.Дусь

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет \glqq ЛЭТИ\grqq,
197376 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 15 января 2009 г. Принята к печати 9 февраля 2009 г.)

На основе объемной модели термического окисления кремния [О.В. Александров, А.И. Дусь. ФТП, 41 (11), 1400 (2008)] проведен анализ ориентационной зависимости скорости окисления кремния в сухом кислороде. Определены ориентационные и температурные зависимости коэффициента диффузии в напряженном диоксиде кремния и характеристического времени его релаксации. Орентационная зависимость коэффициента диффузии окислителя в диоксиде кремния на границе реакционной зоны, D1(110)>D1(111)>D1(100), связывается с ориентирующим влиянием монокристаллической подложки кремния на структуру и плотность прилегающего к нему диоксида кремния. Ориентационная зависимость характеристического времени релаксации, tau(100)>tau(110)>tau(111), обратно коррелирует с ориентационной зависимостью D1 для ориентаций (100) и (111) и прямо --- с внутренними механическими напряжениями для ориентаций (110) и (111).

PACS: 81.65.Ps, 81.05.Cy, 68.35.Md

 PDF версия (252Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster