ФТП, 2009, том 43, выпуск 7

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние этанола на оптические и электрофизические параметры пористого кремния

В.В.Болотов, Ю.А.Стенькин , В.Е.Росликов , В.Е.Кан, И.В.Пономарева, С.Н.Несов

Омский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова
Сибирского отделения Российской академии наук,
644018 Омск, Россия

(Получена 21 октября 2008 г. Принята к печати 27 ноября 2008 г.)

Методами комбинационного рассеяния света, инфракрасной спектроскопии и измерением вольт-амперных характеристик проведено исследование влияния адсорбции паров этанола на свойства структур на основе пористого кремния. Обнаружено уменьшение сопротивления слоев пористого кремния и одновременный рост интенсивности полосы инфракрасного поглощения, обусловленной наличием групп (OH)-... x(OH)- (x=1,2,...) при экспозиции в парах этанола и наоборот, рост сопротивления пленки пористого кремния и уменьшение поглощения на группах OH- при дегазации. Наблюдаемый эффект объясняется изменением области обеднения в элементах скелетона p-Si за счет электростатического взаимодействия групп (OH)- с положительно заряженными поверхностными дефектами. Обсуждается влияние на рост проводимости кремния центров с водородной связью типа Si-OH...OH-C2H5.

PACS: 61.43.Gt, 81.05.Rm, 73.61.Cw, 78.30.Am, 78.66.Db, 81.40.Tv, 81.40.Rs

 PDF версия (150Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster