ФТП, 2009, том 43, выпуск 7

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Свойства GaAsN нитевидных нанокристаллов, полученных методом магнетронного осаждения

И.П.Сошников\kern1pt*,+, Г.Э.Цырлин\kern1pt*,+,\land, А.М.Надточий\kern1pt+, В.Г.Дубровский\kern1pt*,+, М.А.Букин\kern1pt,
В.А.Петров\kern1pt, В.В.Бусов\kern1pt+, С.И.Трошков\kern1pt+

* Санкт-Петербургский физико-технологический научно-образовательный центр Российской академии наук,
195220 Санкт-Петербург, Россия
+ Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
\land Институт аналитического приборостроения Российской академии наук,
198103 Санкт-Петербург, Россия
Санкт-Петербургский государственный политехнический университет,
195251 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 2 декабря 2008 г. Принята к печати 9 декабря 2008 г.)

Продемонстрирована возможность использования метода магнетронного осаждения в плазмообразующей смеси Ar-N2 для синтеза массивов GaAs1-xNx нитевидных нанокристаллов (ННК) с характерными диаметрами от 10 до 200 нм и длиной до 3000 нм. Получены данные о зависимости характера роста ННК от физических параметров (размера затравочных капель Au, скорости осаждения, кристаллографического типа поверхности и температуры подложки). Анализ зависимости высоты от диаметра ННК показывает, что механизм роста является преимущественно диффузионным. Стабильное содержание азота наблюдается при температуре роста в диапазоне 400-500oC и составляет выше 2.7%. При температурах подложки в диапазоне 530-600oC наблюдается резкое падение содержания азота в твердых растворах. Исследования спектров фотолюминесценции полученных образцов показывают красное смещение полосы излучения, что связано с увеличением процентного содержания азота. Установлена зависимость положения полосы люминесценции и содержания азота от температуры. Наблюдается увеличение интенсивности фотолюминесценции образцов ННК GaAsN с содержанием азота 2.7% в 5-10 раз по сравнению с планарными слоями, что объясняется отсутствием дефектов в структуре ННК.

PACS: 61.46.Hk, 78.55.-m

 PDF версия (1.2Mb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster