ФТП, 2009, том 43, выпуск 5

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Дислокационная электрическая проводимость синтетических алмазных пленок

С.Н.Самсоненко, Н.Д.Самсоненко

Донбасская национальная академия строительства и архитектуры,
86123 Макеевка, Украина

(Получена 10 июня 2008 г. Принята к печати 25 июня 2008 г.)

Исследована связь электрического сопротивления монокристаллических гомоэпитаксиальных и поликристаллических алмазных пленок с их внутренней структурой.

Установлено, что электрическая проводимость нелегированных образцов гомоэпитаксиальных и поликристаллических алмазных пленок непосредственно связана с плотностью дислокаций в них. Получено выражение, связывающее удельное сопротивление rho (~ 1013-1015 Ом·см) с плотностью дислокаций Gamma (~ 1014-4· 1016 м-2). Характер этой зависимости для обеих групп гомоэпитаксиальных и поликристаллических алмазных пленок является близким. В тонких (~1-8 мкм) гомоэпитаксиальных и поликристаллических алмазных пленках наблюдается дислокационная проводимость по малоугловым дислокационным границам между блоками мозаики. Энергия активации дислокационных акцепторных центров определена из температурной зависимости электропроводности. Она равна ~0.3 эВ. Электропроводность толстых алмазных пленок (h>10 мкм) с удельным сопротивлением rho~ 108 Ом·см определяется проводимостью межкристаллитных границ, которые имеют неалмазную гидрогенезированную структуру.

Проводится сравнение электронных свойств алмазных пленок с электронными свойствами природных полупроводниковых алмазов типа II b и типа I c, у которых энергия активации дислокационных акцепторных центров равна 0.2-0.35 эВ и которые определяют их дырочную проводимость.

PACS: 61.72.Dd, 61.72.Hh, 61.72.Lk, 72.80.-r

 PDF версия (145Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster